[发明专利]一种酸洗缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种酸洗缓蚀剂，其特征在于，所述酸洗缓蚀剂组成及质量组份如下：

所述的缓蚀主剂的分子结构式如下：

2.根据权利要求1所述酸洗缓蚀剂的制备方法，其特征在于，所述的制备方法如下：

(1)将ATMP和水加入容器中，升温至30-40℃，搅拌均匀，其次边搅拌边加入T-225，搅拌均匀待用；

(2)在上述容器中加入HPMA，升温至40-48℃，搅拌均匀后加入六偏磷酸钠，搅拌均匀得到混合溶液；

(3)向上述混合溶液中缓慢加入缓蚀主剂，升温至45-60℃，搅拌均匀得到酸洗缓蚀剂。

3.根据权利要求1所述的酸洗缓蚀剂，其特征在于，所述的缓蚀主剂的合成方法如下：

(1)反应器中加入对氨基苯甲酰胺和水，搅拌均匀，同时加热到40-50℃得到对氨基苯甲酰胺水溶液；

(2)然后向上述反应器中同时滴加二硫化碳和氢氧化钠水溶液，反应过程维持pH8-9，滴加完毕后加热回流，得到含有缓蚀主剂的混合物；

(3)将上述混合物却到10℃以下，析出晶体，离心，用清水冲洗，80-90℃烘干，得到缓蚀主剂。

4.根据权利要求3所述的酸洗缓蚀剂，其特征在于，步骤(1)中，所述的水的质量为对氨基苯甲酰胺质量的3-20倍。

5.根据权利要求4所述的酸洗缓蚀剂，其特征在于，所述的水的质量为对氨基苯甲酰胺质量的3-10倍。

6.根据权利要求3所述的酸洗缓蚀剂，其特征在于，步骤(2)中，所述的二硫化碳与对氨基苯甲酰胺的摩尔比为1:2-2.2。

7.根据权利要求6所述的酸洗缓蚀剂，其特征在于，步骤(2)中，所述的二硫化碳与对氨基苯甲酰胺的摩尔比为1：2。

8.根据权利要求3所述的酸洗缓蚀剂，其特征在于，所述的氢氧化钠水溶液浓度为2-20wt％。

9.根据权利要求3所述的酸洗缓蚀剂，其特征在于，所述的氢氧化钠水溶液加入量为对氨基苯甲酰胺质量的0.2-2倍。

10.根据权利要求3所述的酸洗缓蚀剂，其特征在于，步骤(2)中，所述的加热回流时间为1-10h。