[发明专利]一种半导体物料智能管理系统及使用方法

说明书

本发明公开了一种半导体物料智能管理系统及使用方法，包括：物料投入口，用于将待冷藏物料通过物料投入口投入至系统内进行冷藏；待冷藏物料包括待冷藏的物料及装有待冷藏的物料的器具或载体；进出料扫码区，用于扫描待冷藏物料上的物料信息；搬运模组，用于将系统内的物料转移搬运至所需位置；物料冷藏区，用于对系统内的待冷藏物料进行低温冷藏；回温区，用于对来自物料冷藏区的物料进行使用前的回温；物料取出区，用于取出回温区已回温好的物料。本发明为一种集半导体物料冷藏及回温于一体的全自动智能管理系统，可与物流管理系统网络对接，实现光刻胶等半导体物料的智能管控，智能化水平高，工作效率高，降低人为误差，适合工业化推广使用。

技术领域

本发明属于智能管理系统技术领域，具体涉及一种半导体物料智能管理系统及使用方法。

背景技术

光刻胶等半导体物料存储时需特定的低温环境，在使用前需对该类物料进行回温，使用时必须保证其回温时长足够。但是，不同的光刻胶需回温的时长并不相同，目前均为人为记录各光刻胶的回温时间，自动化程度低，智能化程度低，而且存在回温时长不够被使用的风险。因此，设计一种集光刻胶等半导体物料的冷藏以及回温功能的全自动化智能管理系统具有十分重要的现实意义。

发明内容

为解决现有技术中存在的技术问题，本发明的目的在于提供一种半导体物料智能管理系统及使用方法。

为实现上述目的，达到上述技术效果，本发明采用的技术方案为：

一种半导体物料智能管理系统，包括：

物料投入口，用于将待冷藏物料通过物料投入口投入至系统内进行冷藏；所述待冷藏物料包括待冷藏的物料及装有待冷藏的物料的器具或载体；

进出料扫码区，用于扫描待冷藏物料上的物料信息；

搬运模组，用于将系统内的物料转移搬运至所需位置；

物料冷藏区，用于对系统内的待冷藏物料进行低温冷藏；

回温区，用于对来自物料冷藏区的物料进行使用前的回温；

物料取出区，用于取出回温区已回温好的物料。

进一步的，所述物料投入口、进出料扫码区、搬运模组、物料冷藏区、回温区和物料取出区集成设置在箱体内，所述箱体上设置触屏式控制面板和刷卡区，控制面板带有控制器模块，箱体上还设置与物料取出区相适配的取出门，所述刷卡区与控制器模块输入端相连，控制器模块的输出端与取出门相连。

进一步的，所述物料投入口设置有物料传送装置，所述物料传送装置上设置有用于紧固待冷藏物料的物料固定组件，待冷藏物料通过物料投入口放置于物料传送装置上，通过物料传送装置将待冷藏物料传送至系统内的合适位置并等待搬运模组进行搬运。

进一步的，所述进出料扫码区包括扫码模组、移动模组和旋转动力模组，所述扫码模组设置于移动模组上，所述旋转动力模组包括若干个可旋转并用于放置物料的底盘，所述扫码模组对底盘上的物料进行扫码。

进一步的，所述搬运模组搬运模组包括X轴轨道模组、Y轴轨道模组和移动组件，所述X轴轨道模组上设置Y轴轨道模组，Y轴轨道模组能够沿X轴轨道模组左右往复运动，所述Y轴轨道模组上设置移动组件，移动组件能够沿Y轴轨道模组上下往复运动，所述移动组件包括可旋转的夹爪组件和Z轴轨道模组，夹爪组件能够沿Z轴轨道模组前后往复运动，夹爪组件用于夹持住物料。

进一步的，所述X轴轨道模组包括分别垂直于Y轴轨道模组顶部和底部的X1轴轨道模组和X2轴轨道模组，所述Y轴轨道模组与Z轴轨道模组垂直设置。

进一步的，所述物料冷藏区包括若干个冷藏室，所述冷藏室内设置可旋转的储物架，储物架上设置有若干个供放置待冷藏物料的固定工位。