[发明专利]一种针对长杆状工件进行PECVD的夹具

说明书

本发明涉及一种针对长杆状工件进行PECVD的夹具，包括芯轴、套设且固定在芯轴上的第一定位板与第二定位板、设置于第一定位板上的若干定位筒以及固定在芯轴上的驱动盘，所述定位筒围绕芯轴轴芯设置，所述芯轴不带电；或者，当芯轴带电时，在芯轴上设隔绝件，所述隔绝件将芯轴的工作区完全遮蔽，所述隔绝件不带电。通过使芯轴不带电或者在芯轴带电时，在芯轴外套设不带电隔绝件，能够实现芯轴不再辉光放电，杆状工件的辉光放电区不再有重叠区域，则无法形成有效的空心阴极效应，在不改变杆状工件与芯轴距离的同时增加杆状工件的装夹密度，也能够保证通过脉冲辉光PECVD形成的涂层表面均匀、厚度一致，大大提高了生产效率，降低了生产成本。

技术领域

本发明涉及PECVD技术领域，尤其是涉及一种针对长杆状工件进行PECVD的夹具。

背景技术

等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）是化学气相沉积的一种，其沉积温度低是其最突出的优点，由其沉积的薄膜具有优良电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性，在超大规模集成电路、光电器件、MEMS等领域具有广泛应用。

在针对杆状工件进行脉冲辉光PECVD涂层时，一般会采用类似三维旋转盘的方式进行装夹，通过一个芯轴来提供旋转动力，在芯轴上设置圆盘，杆状工件围绕芯轴均匀分布在圆盘上，杆状工件在工作时需要围绕芯轴公转且自身需要实现自转，在脉冲辉光PECVD涂层时能够很好的进行工作；然而在实际使用过程中，当杆状工件较长，此时需要在杆状工件顶部进行定位，保证其不会偏移，同时装夹密度较大时，则杆状工件与芯轴之间则会发生空心阴极效应，杆状工件与芯轴之间有强烈的放电，具体可能为断续或者连续放电，严重影响到脉冲辉光PECVD的制程，放电区工件上涂层外观异常，厚度偏离设计值较大，严重情况下会导致工件熔化；为解决上述问题，一般情况下，会通过减少杆状工件的装夹密度或者增加杆状工件与芯轴之间的距离来实现，这样则会显著降低生产效率，提高加工成本。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种能够在保证装夹密度的同时提高生产效率的针对长杆状工件进行脉冲辉光PECVD的夹具。

本发明解决其技术问题所采取的技术方案是：一种针对长杆状工件进行PECVD的夹具，包括芯轴、套设且固定在芯轴上的第一定位板与第二定位板、设置于第一定位板上的若干定位筒以及固定在芯轴上的驱动盘，所述定位筒围绕芯轴轴芯设置，所述芯轴不带电；或者，当芯轴带电时，在芯轴上设隔绝件，所述隔绝件将芯轴的工作区完全遮蔽，所述隔绝件不带电。

进一步具体的，当芯轴不带电时，所述芯轴采用绝缘材料制作而成。

进一步具体的，所述隔绝件为采用绝缘材料制作而成的套筒并套设在芯轴上。

进一步具体的，所述绝缘材料为绝缘陶瓷材料。

进一步具体的，所述绝缘陶瓷材料为氧化铝陶瓷。

进一步具体的，所述隔绝件为设置于芯轴表面的绝缘层。

进一步具体的，所述隔绝件包括第一材质管以及位于第一材质管两端的第二材质管，所述第一材质管与芯轴不接触，所述第二材质管绝缘。

进一步具体的，两端所述第二材质管上均设置有台阶，所述第一材质管套设于台阶上。

进一步具体的，在所述隔绝件与导电物体的接触部位设置有遮蔽罩。

进一步具体的，所述隔绝件壁厚大于1mm。

进一步具体的，在所述芯轴上设置有第三定位板，所述第三定位板位于第一定位板、第二定位板之间，所述定位筒穿过第三定位板。