[发明专利]一种确定位置偏差的方法及系统在审
申请号: | 202210271247.1 | 申请日: | 2022-03-18 |
公开(公告)号: | CN114649244A | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 崔洁;罗杨;牛岩;王家林;祁雪飞 | 申请(专利权)人: | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 高燕 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 确定 位置 偏差 方法 系统 | ||
1.一种确定位置偏差的方法,其特征在于,所述方法包括:
获取被传送物体对应的第一光电数据和第二光电数据;
将所述第一光电数据带入对应的第一数学模型得到实际横坐标值,将所述第二光电数据带入对应的第二数学模型得到实际纵坐标值;
将所述实际横坐标值与标准横坐标值作差得到横坐标偏差,将所述实际纵坐标值与标准纵坐标值作差得到纵坐标偏差;
将所述横坐标偏差和所述纵坐标偏差作为所述被传送物体的位置偏差。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一数学模型的确定方法为:将传送机构的y轴位置固定,控制所述传送机构沿着x轴方向移动,通过数据拟合的方式获取以所述传送机构的横坐标为自变量,以第一标准光电数据为因变量的第一数学模型;
所述第二数学模型的确定方法为:将所述传送机构的x轴位置固定,控制所述传送机构沿着y轴方向移动,通过数据拟合的方式获取以所述传送机构的纵坐标为自变量,以第二标准光电数据为因变量的第二数学模型。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述标准横坐标值的确定方法为:获取被传送物体对应的第一目标光电数据,将所述第一目标光电数据带入对应的第一数学模型得到标准横坐标值;
所述标准纵坐标值的确定方法为:获取被传送物体对应的第二目标光电数据,将所述第二目标光电数据带入对应的第二数学模型得到标准纵坐标值。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述将所述横坐标偏差和所述纵坐标偏差作为所述被传送物体的位置偏差之后,所述方法还包括:
确定所述横坐标偏差对应的横向偏差方向,控制传送机构向所述横向偏差方向的相反方向移动所述横坐标偏差的绝对值,以修正所述横坐标偏差;
确定所述纵坐标偏差对应的纵向偏差方向,控制传送机构向所述纵向偏差方向的相反方向移动所述纵坐标偏差的绝对值,以修正所述纵坐标偏差。
5.一种确定位置偏差的系统,其特征在于,所述系统包括:传送机构、被传送物体、第一光电传感器、第二光电传感器和处理器;所述第一光电传感器和所述第二光电传感器安装在所述传送机构对应的操作腔室内;
所述传送机构用于带动所述被传送物体运动;
所述第一光电传感器用于获取被传送物体对应的第一光电数据;所述第二光电传感器用于获取被传送物体对应的第二光电数据;
所述处理器用于执行1-4任一项所述确定位置偏差的方法。
6.根据权利要求5所述的系统,其特征在于,所述第一光电传感器还用于获取被传送物体对应的第一标准光电数据;所述第二光电传感器还用于获取被传送物体对应的第二标准光电数据。
7.根据权利要求5所述的系统,其特征在于,所述第一光电传感器和所述第二光电传感器安装在所述传送机构对应的操作腔室内,包括:
所述第一光电传感器的发射端和接收端垂直间隔第一预置距离,分别安装在所述传送机构的上方和下方;所述第二光电传感器的发射端和接收端垂直间隔第一预置距离,分别安装在所述传送机构的上方和下方。
8.根据权利要求5所述的系统,其特征在于,所述系统还包括:编码器;所述传送机构上设置有编码器,所述编码器用于获取所述传送机构的横坐标和纵坐标。
9.一种确定位置偏差的装置,其特征在于,所述装置包括:
第一获取模块,用于获取被传送物体对应的第一光电数据和第二光电数据;
第二获取模块,用于将所述第一光电数据带入对应的第一数学模型得到实际横坐标值,将所述第二光电数据带入对应的第二数学模型得到实际纵坐标值;
第一确定模块,用于将所述实际横坐标值与标准横坐标值作差得到横坐标偏差,将所述实际纵坐标值与标准纵坐标值作差得到纵坐标偏差;
第二确定模块,用于将所述横坐标偏差和所述纵坐标偏差作为所述被传送物体的位置偏差。
10.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1至4任一所述的确定位置偏差的方法的步骤。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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