[发明专利]传输校正机构及硅片生产流水线

说明书

本发明涉及一种传输校正机构及硅片生产流水线，硅片生产流水线包括传输校正机构，传输校正机构包括驱动模块、传输模块和校正模块，传输模块传动连接于驱动模块，传输模块能在驱动模块的驱动下沿第一方向传输工件；校正模块连接于传输模块，校正模块具有校正间隙，校正间隙沿第二方向的尺寸能够在驱动模块的驱动下减小或增大，第二方向垂直于第一方向。当校正间隙沿第二方向的尺寸减小时，校正模块能够触碰到工件相对两端，以对工件放置于传输模块的位置进行校正。使得只需一个电机即可同时驱动传输模块及校正模块一次完成传输和校正两个动作，解决了现有的传输校正机构校正准确率低、传输校正所需时间长，及生产和维护成本较高的问题。

技术领域

本发明涉及光伏制造生产技术领域，特别是涉及一种传输校正机构及硅片生产流水线。

背景技术

太阳能电池，是基于光伏效应开发出来的一种光电转换器件，目前国际光伏市场上的太阳能电池主要有晶体硅(包括单晶硅、多晶硅)、非晶/单晶异质结(HITHeterojunction with Intrinsic Thin film)、非晶硅薄膜、碲化镉薄膜及铜铟硒薄膜太阳能电池等。太阳能电池的生产制造过程中，硅片是最主要的原材料。

在硅片的制绒、刻蚀、PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)和印刷等工艺环节中，对于硅片的校正是每道工序的基本需求。通常的硅片传输校正机构是由一个电机带动硅片传输，另外一个电机进行校正硅片，在硅片的两侧进行推片而达到校正的目的。但是配置两个以上的电机往往无法同步控制硅片的传输和校正两个动作，有可能硅片还未传输到位或已经传输过位就进行了推片校正动作，使得硅片校正的准确率降低，在这种情况下，为了提高硅片校正的准确率，则需要先将硅片传输到位，然后再对硅片进行校正，这样又会使传输和校正的整个过程所需要的时间过长，同时配置两个以上的电机还会导致传输校正机构的程序相对较为复杂，生产和维护成本较高，不利于大规模地推广使用。

发明内容

基于此，有必要针对现有的传输校正机构需配备至少两个电机分别完成传输和校正两个动作，从而导致校正准确率低、传输校正所需时间长，及生产和维护成本较高的问题，提供一种传输校正机构和硅片生产流水线，旨在只需一个电机就可同时实现传输和校正两个动作，从而能够达到提高校正准确率、缩短校正时间、简化程序及降低生产和维修成本的目的。

根据本申请的一个方面，提供一种传输校正机构，包括：

驱动模块；

传输模块，传动连接于所述驱动模块，所述传输模块能够在所述驱动模块的驱动下沿第一方向传输工件；及

校正模块，连接于所述传输模块，所述校正模块通过所述传输模块传动连接于所述驱动模块，所述校正模块具有校正间隙，所述校正间隙沿第二方向的尺寸能够在所述驱动模块的驱动下减小或增大；

所述校正间隙沿所述第二方向的尺寸减小时，所述校正模块能够触碰到所述工件相对两端，以对所述工件放置于所述传输模块的位置进行校正；

其中，所述第一方向垂直于所述第二方向。

在其中一个实施例中，所述传输模块包括主动轴组件和与所述主动轴组件相连接的第一直线运动转换机构；

所述校正模块包括从动轴组件、第二直线运动转换机构和两个校正组件，所述从动轴组件传动连接所述主动轴组件，两个所述校正组件通过所述第二直线运动转换机构与所述从动轴组件传动连接，两个所述校正组件沿所述第二方向间隔排布以形成所述校正间隙；

当所述主动轴组件绕自身轴线方向旋转时，能够带动所述从动轴组件同步绕自身轴线方向旋转，并通过所述第二直线运动转换机构驱动两个所述校正组件相互远离或靠近。