[发明专利]弹性接触器及半导体制程腔室

说明书

本发明涉及半导体设备领域，具体公开了一种弹性接触器及半导体制程腔室，包括：管状弹性本体，本体的截面呈螺旋状，沿本体的长度方向，于本体上开设若干个缺口。本申请的弹性接触器的横截面呈螺旋状，接触面积大，回弹力强，保证了与上盖和底座紧密的接触，有效的电导通；本申请的弹性接触器上开设若干个缺口，使得弹性接触器可适配上盖和下盖的导电沟槽的形状。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，具体公开了一种弹性接触器及半导体制程腔室。

背景技术

半导体制程腔室需要上盖和底座可靠导电连接，上盖和底座由于表面镀有不导电涂层，需要设置弹性金属垫圈保证上盖和底座的可靠电导通。如图1所示，现有的弹性接触器100^，，采用螺旋弹性接触器，这种方案接触面积小，接触点压缩量小容易损坏上下盖的表面，产生金属颗粒污染。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种弹性接触器及半导体制程腔室，旨在解决上述至少一个技术问题。

为实现上述目的，本发明的第一方面提出了一种弹性接触器，包括：

管状弹性本体，所述本体的横截面呈螺旋状，沿所述本体的长度方向，于所述本体上开设若干个缺口。

本发明的第二方面提出了一种半导体制程腔室，包括上盖、底座以及如上所述的弹性接触器，其中，所述底座的中部开设有凹槽，所述上盖盖设在所述底座的顶端，并与所述底座围设成容纳腔，所述弹性接触器设置在所述上盖和底座之间，并将所述上盖和所述底座导通。

另外，本发明的上述弹性接触器还可以具有如下附加的技术特征。

根据本发明的一个实施例，若干个缺口均匀的分布在所述本体上。

根据本发明的一个实施例，所述本体呈长条形。

根据本发明的一个实施例，所述本体呈缺口环形。

根据本发明的一个实施例，所述本体呈环形。

根据本发明的一个实施例，所述底座的端面上设置环形第一导电沟槽，所述上盖的对应位置开设第二导电沟槽，所述第一导电沟槽和第二导电沟槽对接构成容纳空间，所述弹性接触器位于所述容纳空间内。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

1、本申请的弹性接触器的横截面呈螺旋状，接触面积大，回弹力强，保证了与上盖和底座紧密的接触，有效的电导通；

2、本申请的弹性接触器上开设若干个缺口，使得弹性接触器可适配上盖和下盖的导电沟槽的形状。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1是现有技术中弹性接触器的结构示意图；

图2是本发明一个实施例中弹性接触器的立体图；

图3是图2的横截面图；

图4是图2的侧视图；

图5是本发明一个实施例中半导体制程腔室的爆炸图；

图6是图5的截面图。

附图标记：

弹性接触器100、本体10、缺口101、半导体制程腔室200、上盖20、第二导电沟槽201、底座21、凹槽210、第一导电沟槽211。

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。