[发明专利]一种制备高性能铝基复合材料散热基板的方法有效
申请号: | 202210188318.1 | 申请日: | 2022-02-28 |
公开(公告)号: | CN114582730B | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
发明(设计)人: | 傅蔡安;傅菂;李成力 | 申请(专利权)人: | 江南大学 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;C22C1/10;C22C1/02;B22D7/00;B22D19/00;B22D27/11;B22D27/20;C22C21/00;C22C26/00;B22D21/04 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 严梅芳 |
地址: | 214122 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 性能 复合材料 散热 方法 | ||
一种制备高性能铝基复合材料散热基板的方法,包括加工设备,加工设备的具体结构为:包括真空加热炉,所述真空加热炉内放置钢制坩埚,所述钢制坩埚内底面设置有强氧化剂,所述强氧化剂和钢制坩埚的上表面同时放置成形模具,成形模具上表面放置铝块,所述真空加热炉一端通过管路连接真空泵,另一端通过管路连接氮气罐;采用压力浸渗法,形成了具有更高致密度的铝基陶瓷复合材料,铝基陶瓷复合材料由一种金属基体和非金属增强相构成,其中铝为金属基体,非金属增强相可为金刚石、石墨烯等,以金刚石为例,本工艺通过高压浸渗,使铝液填充在金刚石颗粒的空隙间。
技术领域
本发明涉及散热期间加工技术领域,尤其是一种制备高性能铝基复合材料散热基板的方法。
背景技术
铝基导热复合材料具有高热导率、与封装芯片相匹配的热膨胀系数、质量轻、刚度大等特点,是目前理想的大功率集成电路模块封装散热材料。多芯片组件和大电流功率模块是航天航空、国防建设、民用交通、输变电系统等的核心部件,目前常见的金属基复合散热材料有铝石墨烯、铝金刚石和铝碳化硅等。
金刚石是自然界中最硬的物质,其热导能达到2000W/m·K,随着技术的进步,人工金刚石粉料的价格逐渐在下降,但金刚石在高温下会发生高温裂解。石墨烯的热导高达3500W/m·K。但石墨烯在550℃以上易氧化,与空气中的氧气反应生成二氧化碳,产生“失重”现象。碳化硅其本身的热导较低,所制备的复合材料热导并不理想。因此,如果能够解决陶瓷材料的高温裂解和失重问题,铝金刚石和铝石墨烯复合材料将成为导热复合材料的最佳选择之一。
发明内容
本申请人针对上述现有生产技术中的缺点,提供一种制备高性能铝基复合材料散热基板的方法,从而采用压力浸渗法,形成了具有更高致密度的铝基陶瓷复合材料,铝基陶瓷复合材料由一种金属基体和非金属增强相构成,其中铝为金属基体,非金属增强相可为金刚石、石墨烯等,以金刚石为例,本工艺通过高压浸渗,使铝液填充在金刚石颗粒的空隙间。
本发明所采用的技术方案如下:
一种制备高性能铝基复合材料散热基板的方法,包括加工设备,加工设备的具体结构为:包括真空加热炉,所述真空加热炉内放置钢制坩埚,所述钢制坩埚内底面设置有强氧化剂,所述强氧化剂和钢制坩埚的上表面同时放置成形模具,成形模具上表面放置铝块,所述真空加热炉一端通过管路连接真空泵,另一端通过管路连接氮气罐;
操作过程如下:
第一步:准备陶瓷颗粒,将陶瓷颗粒进行配比,通过振动和压实工作,将陶瓷颗粒压制成粉料块;
第二步:通过模具钢隔板、铝箔支撑成形模具,将第一步中得到的石粉料块装入成形模具的两铝箔之间的凹槽内;
第三步:在钢制坩埚内部凹槽内铺上一层强氧化剂;
第四步:将成形模具放入钢制坩埚内部,将计算好体积的铝块放置在成形模具上,同钢制坩埚一起放入真空加热炉中;
第五步:真空泵工作,开始抽真空,真空度达到10Pa-10-2Pa,停止抽真空;
第六步:真空加热炉开始进行加热,加热温度设定650-800℃,加热时间30-120分钟,保温60-240分钟;随着加热的开始,真空加热炉内残留的氧气与强氧化剂会发生反应,进一步去氧。
第七步:将铝锭放入融铝炉中,设置加热温度为650℃-850℃,打开加热开关,使铝锭熔化,制备精炼的铝液,为后面铝液的浇铸和挤压做准备;
第八步:打开压力机压槽的加热开关,对压力机压槽进行预热,设定温度为400℃-500℃;
第九步:待加热炉中铝块完全融化并覆盖成型模具后,氮气罐工作,开始充入氮气,待真空加热炉的炉内、外压强平衡后,停止充入氮气;
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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