[发明专利]一种UV解胶机

权利要求书

1.一种UV解胶机，包括外部壳体和设置在外部壳体底部四角处的支撑组件(6)和滚轮组件(7)，其特征在于，所述外部壳体包括位于左上侧的晶圆放置箱(4)、位于右上侧的放置晶圆提篮的提篮主箱(2)、位于右下侧的使晶圆提篮升降的晶圆次箱(1)、位于左下侧的用于晶圆解胶的解胶箱(5)，所述晶圆放置箱(4)、提篮主箱(2)、晶圆次箱(1)和解胶箱(5)顺序连通，所述晶圆放置箱(4)内设置有用于放置晶圆的晶圆箱(4-3)，所述提篮主箱(2)内设置有晶圆提篮(2-2)、安装架(2-5)、设置在安装架(2-5)上且能调整放置晶圆提篮(2-2)距离的调整架(2-1)、设置在安装架(2-5)上且能沿安装架(2-5)水平移动到晶圆箱(4-3)内拾取晶圆的机械抓手组件(2-3)。

2.根据权利要求1所述的一种UV解胶机，其特征在于，所述晶圆次箱(1)内设置有直线升降机构(1-1)，直线升降机构(1-1)顶部与调整架(2-1)底部连接，所述直线升降机构(1-1)为升降气缸。

3.根据权利要求1所述的一种UV解胶机，其特征在于，所述解胶箱(5)内设置有隔板(5-1)，所述隔板(5-1)中部镶嵌有圆盘状的石英玻璃(5-3)，所述隔板(5-1)上还设置有位于石英玻璃(5-3)两侧的晶圆提篮A(5-2)，所述隔板(5-1)上还设置有一对用于调整晶圆提篮A(5-2)间距的调整机构A(5-5)，所述隔板(5-1)下方设置有用于对准石英玻璃(5-3)的UV灯管组件(5-6)。

4.根据权利要求3所述的一种UV解胶机，其特征在于，所述调整架机构(2-1)和调整机构A(5-5)均为调整气缸。

5.根据权利要求3所述的一种UV解胶机，其特征在于，所述解胶箱(5)内顶部设置有氮气喷头(5-4)，所述解胶箱(5)内底部设置有使氮气形成对流的抽风机(5-7)。

6.根据权利要求3所述的一种UV解胶机，其特征在于，所述解胶箱(5)内设置有散热风扇。

7.根据权利要求1所述的一种UV解胶机，其特征在于，所述晶圆箱(4-3)为开口向下的形状为U形折板，U形折板的宽度与晶圆提篮(2-2)的宽度相适应，所述晶圆放置箱(4)上设置有开口，所述开口处铰接设置有密封盖(4-1)，所述密封盖(4-1)上设置有透明的观察窗(4-2)和把手。

8.根据权利要求1所述的一种UV解胶机，其特征在于，所述提篮主箱(2)左侧设置有控制面板(3)，所述控制面板(3)上设置有多个控制按钮。

9.根据权利要求1所述的一种UV解胶机，其特征在于，所述提篮主箱(2)内部右侧壁设置有竖直导向板(2-6)，竖直导向板(2-6)上设置有两条相互平行的导轨(2-7)，所述安装架(2-5)右端设置有竖直板，竖直板上设置有与两条导轨(2-7)卡接的两个卡槽。