[发明专利]3维测量装置及3维测量方法

说明书

抑制3维测量的可靠性的降低。3维测量装置具有：投影控制部，其对投影装置进行控制，以使得相位相互不同的多个种类的正弦波状的明度分布的条纹图案向物体投影；拍摄次数决定部，其决定在1种条纹图案的投影中取得的物体的基础图像的取得次数；拍摄控制部，其对拍摄装置进行控制，以使得在多个种类的条纹图案各自的投影中以取得次数取得基础图像；合成图像生成部，其将取得次数的基础图像进行合成，生成与多个种类的条纹图案各自相对应的多个合成图像；以及3维形状计算部，其基于多个合成图像，对物体的3维形状进行计算。

技术领域

本发明涉及3维测量装置及3维测量方法。

背景技术

作为物体的3维测量方法，已知专利文献1公开那样的移相法。在基于移相法对物体的3维形状进行测量的情况下，正弦波状的明度分布的条纹图案一边移相一边向物体投影。对被投影条纹图案的物体进行拍摄，由此得到物体的图像。

专利文献1：日本特开2001－124534号公报

例如在物体的表面的光反射率低的情况下，由拍摄装置取得的物体的图像有可能变得不清楚。如果物体的图像变得不清楚，则3维测量的可靠性有可能降低。

发明内容

本发明的目的在于，抑制3维测量的可靠性的降低。

按照本发明，提供一种3维测量装置，其具有：投影控制部，其对投影装置进行控制，以使得相位相互不同的多个种类的正弦波状的明度分布的条纹图案向物体投影；拍摄次数决定部，其决定在1种条纹图案的投影中取得的物体的基础图像的取得次数；拍摄控制部，其对拍摄装置进行控制，以使得在多个种类的条纹图案各自的投影中以取得次数取得基础图像；合成图像生成部，其将取得次数的基础图像进行合成，生成与多个种类的条纹图案各自相对应的多个合成图像；以及3维形状计算部，其基于多个合成图像，对物体的3维形状进行计算。

发明的效果

根据本发明，抑制3维测量的可靠性的降低。

附图说明

图1是示意地表示实施方式所涉及的3维测量装置的图。

图2是表示实施方式所涉及的控制装置的功能框图。

图3是表示实施方式所涉及的条纹图案的图。

图4是表示实施方式所涉及的正弦波的参数的图。

图5是表示实施方式所涉及的3维测量方法的流程图。

图6是表示实施方式所涉及的3维测量方法的示意图。

具体实施方式

下面，一边参照附图一边对本发明所涉及的实施方式进行说明，但本发明并不限定于实施方式。以下说明的实施方式的结构要素能够适当组合。另外，有时不使用一部分的结构要素。

在实施方式中，设定XYZ正交坐标系，参照该XYZ正交坐标系而对各部的位置关系进行说明。将平行于规定面的X轴的方向设为X轴方向，将平行于规定面的与X轴正交的Y轴的方向设为Y轴方向，将平行于与规定面正交的Z轴的方向设为Z轴方向。另外，将以X轴为中心的旋转或倾斜方向设为θX方向，将以Y轴为中心的旋转或倾斜方向设为θY方向，将以Z轴为中心的旋转或倾斜方向设为θZ方向。XY平面是规定面。

[3维测量装置]

图1是示意地表示实施方式所涉及的3维测量装置1的图。3维测量装置1基于移相法对物体W的3维形状进行测量。如图1所示，3维测量装置1具有工作台2、投影装置3、拍摄装置4和控制装置5。

工作台2对作为测量对象的物体W进行支撑。