[发明专利]晶圆上料旋转定位机

权利要求书

1.晶圆上料旋转定位机，其特征在于，包括：

定位板，该定位板的表面布满均匀排列的方框，方框内具有按照规则设定的标记值，基于所述标记值用于记录每一方框对应的坐标；

基板，设置在定位板的下部，所述基板上设置有三个同心的定位环组件，每一定位环组件上设置有若干个均匀设置的定位组件；

在基板的下部设置有旋转板，在旋转板的下部设置有旋转电机组件，所述旋转电机组件的下部设置有倾斜组件；

所述定位组件包括：

一组定位轴销，底部固定在定位环上部，所述定位轴销的上部与上电磁盘固定，所述上电磁盘上部设置在定位板的下部，所述上电磁盘的中间部具有一通孔；

下磁盘，安装在定位轴销的下部且位于定位环的上部，所述下磁盘的中间部具有一顶轴，所述顶轴的上部位于所述通孔内；

在定位板上设置有与顶轴对应的顶针通孔，在顶针通孔的底部设置有顶块，该顶块的底部与顶轴固定，在顶块的上部设置有弹簧，在弹簧的上部设置有顶针；

控制装置，具有电路控制器，用于基于设定规则开启开关以使得供电装置对上电磁盘供电，下磁盘在上电磁盘的吸力作用下上移与上电磁盘接触，顶轴通过顶块将所述顶针顶出定位板，形成定位。

2.根据权利要求1所述的晶圆上料旋转定位机，其特征在于，所述定位板的上部设置有CCD相机。

3.根据权利要求1所述的晶圆上料旋转定位机，其特征在于，所述定位环组件以定位板的中心并按照同心圆环进行排布，具有边侧定位环、中间定位环和内侧定位环，所述边侧定位环位于定位板的边沿位置，内侧定位环用于将晶圆定位在定位板的中部，中间定位环位于边侧定位环和内侧定位环之间，其中，边侧定位环和中间定位环用于内侧定位环的辅助定位。

4.根据权利要求1所述的晶圆上料旋转定位机，其特征在于，所述顶针通孔设置在方框内。

5.根据权利要求1所述的晶圆上料旋转定位机，其特征在于，所述旋转电机组件包括：

旋转电机，设置在旋转电机的电机轴上的联轴器，与联轴器连接的转轴，所述转轴的上部与所述旋转板底部固定。

6.根据权利要求1所述的晶圆上料旋转定位机，其特征在于，所述倾斜组件包括：

底板；

两个气缸组件，设置在底板上；

所述气缸组件具有：推顶气缸，设置在推顶气缸上的气缸推杆；

倾斜板，其下部设置有两个固定槽，每一所述气缸组件的所述气缸推杆分别固定在对应的固定槽内；

所述控制装置与两个气缸组件分别连接，在初始位置，在所述控制装置下，两个气缸组件处于同一高度，以使得倾斜板保持水平状态，当晶圆放置在定位板上时，CCD相机获取定位板上的第一图像信息，将该第一图像信息传递至控制装置的处理器，所述处理器依据识别模块获取第一图像信息中的标记值，基于所述标记值获取第一图像信息中晶圆的第一坐标数据，以第一坐标数据获取晶圆在定位板上的第一位置数据，依据所述第一位置数据所述控制装置确定边侧定位环或中间定位环的定位启闭，形成辅助定位；

辅助定位完成后，所述控制装置控制两个所述气缸组件中的任意一个的气缸推杆上移，以使所述定位板沿水平方向倾斜30-40°，所述控制装置控制旋转电机转动，旋转电机转动以带动定位板转动，放置在定位板上的晶圆被滑到辅助定位的边侧，控制装置控制旋转电机停止转动，CCD相机获取定位板上的第二图像信息，该第二图像信息传递至控制装置的处理器，所述处理器依据识别模块获取第二图像信息中的标记值，基于所述标记值获取第二图像信息中晶圆的第二坐标数据，以第二坐标数据获取晶圆在定位板上的第二位置数据，依据所述第二位置数据所述控制装置驱动所述电路控制器将内侧定位环上的多个定位销组件启动，然后所述控制装置控制所述旋转电机将所述定位板转动一个半圈，使得晶圆滑到内侧定位环以形成定位，所述控制装置控制气缸组件的气缸推杆下移以使两个气缸组件处于同一高度，倾斜板保持水平状态，晶圆定位完成。

7.根据权利要求6所述的晶圆上料旋转定位机，其特征在于，依据所述第一位置数据所述控制装置确定边侧定位环或中间定位环的定位启闭，形成辅助定位的方法包括：

所述控制装置驱动所述电路控制器将边侧定位环和中间定位环中的任意一个上部的定位销组件基于设定规则开启开关以使得供电装置对上电磁盘供电，下磁盘在上电磁盘的吸力作用下上移与上电磁盘接触，顶轴通过顶块将所述顶针顶出定位板，形成辅助定位。