[发明专利]一种芯片加工用微小元件搬运装置在审
申请号: | 202210152703.0 | 申请日: | 2022-02-18 |
公开(公告)号: | CN114420613A | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 仝嘉琪 | 申请(专利权)人: | 仝嘉琪 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 工用 微小 元件 搬运 装置 | ||
本发明提供一种芯片加工用微小元件搬运装置,涉及芯片领域。该芯片加工用微小元件搬运装置,包括中心轴,所述中心轴左侧固定连接有稳定盘,稳定盘的内槽固定连接有吸取套,中心轴右侧转动连接有抓取盘,吸取套固定连接在抓取盘内槽,稳定盘上端固定连接有抓取电机,抓取电机输出端固定连接有推动齿,推动齿外周面啮合有齿圈,齿圈与中心轴转动连接。该芯片加工用微小元件搬运装置,通过采用空气吸盘的方式使元件主动靠近装置,避免按压对元件和主板的损伤,通过在吸盘内部安装吸取套避免微小元件吸入装置,使吸盘针对小型元件仍然有效,达到了不损伤元件的同时进行抓取的效果,解决了抓取按压容易对元件造成损伤的问题。
技术领域
本发明涉及芯片领域,具体为一种芯片加工用微小元件搬运装置。
背景技术
集成电路是电路小型化的方式,采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构;其中所有元件在结构上已组成一个整体,使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。
芯片在加工时由于元件整体较小所以连接时通常采用贴片形式,然而装配时往往无法一次装配到位,这时采用镊子夹取容易损伤元件,采用修正笔推动容易造成贴片弯折影响连接,为此设计了一种芯片加工用微小元件搬运装置。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供了一种芯片加工用微小元件搬运装置,解决了抓取按压容易对元件造成损伤、元件形状不规则无法吸附的问题和不同元件需要不同力道进行挪运的问题。
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种芯片加工用微小元件搬运装置,包括中心轴,所述中心轴左侧固定连接有稳定盘,稳定盘的内槽固定连接有吸取套,中心轴右侧转动连接有抓取盘,吸取套固定连接在抓取盘内槽,稳定盘上端固定连接有抓取电机,抓取电机输出端固定连接有推动齿,推动齿外周面啮合有齿圈,齿圈与中心轴转动连接,齿圈外表面啮合有转向齿,转向齿两端与抓取盘固定连接,稳定盘上端盖连接并贯通有稳定筒,抓取盘上端连接并贯通有伸缩筒,稳定筒上端连接并贯通有定位环,伸缩筒上端与定位环固定连接,定位环上端固定连接有分隔仓,分隔仓内槽固定连接有轨道板,分隔仓内槽滑动连接有密封板,密封板上端固定连接有滑槽齿,滑槽齿下端固定连接有顶位弹簧,顶位弹簧底端与轨道板滑动连接,滑槽齿相互靠近的一侧滑动滑动连接有轨道柱,轨道柱上端固定连接有基板,基板两端固定连接有通风筒,通风筒与分隔仓连接并贯通,基板上端固定连接有滑槽筒,滑槽筒的内槽放置有回力弹簧,回力弹簧顶端固定连接有按压板,按压板与滑槽筒滑动连接,按压板与滑槽齿接触,滑槽筒上端固定连接有导杆,导杆的内槽滑动连接有按压键,按压键与按压板接触,通风筒上端固定连接有出风仓,出风仓内槽固定连接有抽风电机,抽风电机输出端固定连接有连接齿,连接齿上端啮合有传动杆,传动杆与出风仓转动连接,传动杆两端固定连接有扇叶。
优选的,所述吸取套外型为空桶形圆柱,圆柱底端中心开设有小孔,吸取套固定连接在稳定盘和抓取盘的内槽圆孔上方,吸取套为橡胶材质底端材质较厚。
优选的,所述分隔仓外层为圆筒,圆筒底端固定连接有底板,底板表面开设有通风口,底板上端固定连接有隔板。
优选的,所述密封板共有两组,分别在分隔仓内部隔板两侧,密封板为扇形,扇形中间开设有缺口。
优选的,所述滑槽齿上端为倒放的“N”字形,顶端伸出的齿牙在轨道柱内部滑动,滑槽齿下为“L”形连杆,连杆上端与轨道柱接触,连杆下端与密封板固定连接。
优选的,所述按压板共有两组相互远离的一端为圆弧板,圆弧板下端与滑槽齿接触连接,按压板相互靠近的一端为导向键,导向键与滑槽筒滑动连接。
优选的,所述滑槽筒外形为圆柱,圆柱顶端有滑孔,回力弹簧放置在滑孔内,按压板在滑孔内滑动。
与现有技术相比,本发明具备以下有益效果:
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