[发明专利]X射线衍射测定装置及方法

说明书

为了解决本发明的问题，提供一种X射线衍射测定装置，包括：直线状的第1狭缝(24a)、第2狭缝(24b)、第3狭缝(24c)，在基于由位于入射光轴(30)与出射光轴(32a,32b,32c)的交叉位置(34)的被测定物(M)产生的X射线衍射，来测定被测定物的特性时，使X射线通过，并以相对于出射光轴的轴旋转方向倾斜的方式配置；第1二维检测器(18a)、第2二维检测器(18b)，在检测区域内检测狭缝的通过X射线；及，轮廓计算部(44)，区分由二维检测器检测出的通过X射线，而分别计算出表示该通过X射线的强度的衍射轮廓；由此对于衍射角不同的多种材料，可以同时获得与它们的特性相关的测定结果。

技术领域

本发明涉及一种X射线衍射测定装置及方法。

背景技术

一直以来，已知有一种X射线衍射测定方法，其借由朝向被测定物照射X射线并对衍射图案(以下也简称为“图案”)进行检测，来测定该被测定物的特性。例如，为了实现测定的效率化，提出了各种组合地使用二维狭缝及二维检测器的方法。本申请人已经提出了借由一次X射线检测动作即可有效地测定被测定物的X射线衍射测定装置及方法(例如，参照专利文献1)。

[先前技术文献]

(专利文献)

专利文献1：日本专利第6383018号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

在专利文献1的X射线衍射测定装置及方法中，例如针对锂离子电池的充放电原位(Insitu)观察，这种因为衍射角不同的多种材料，使得衍射位置会随时间不断变化的测试，凭借现有方法，只能将观察范围对准一种材料(例如，正极材LiCoO₂)，当想对其他材料(例如，负极材石墨)进行观察时，需要变更视野限制狭缝位置后再次进行实验。此情况下，例如针对一次充放电就会改变特性的充放电条件或者材料，即使进行各材料的原位测定并将结果组合，也无法获得正确的测定结果。

本发明是鉴于上述情况而成，目的在于提供一种X射线衍射测定装置及方法，对于衍射角不同的多种材料，可以同时获得与它们的特性相关的测定结果。

[解决问题的技术手段]

(1)一种X射线衍射测定装置(例如，后述的X射线衍射测定装置10)，基于由位于入射光轴(例如，后述的入射光轴30)与出射光轴(例如，后述的出射光轴32a,32b,32c)的交叉位置(例如，后述的交叉位置34)的被测定物(例如，后述的被测定物M)产生的X射线衍射，来测定前述被测定物的特性，所述X射线衍射测定装置包括：通过限制部件(例如，后述的第1通过限制部件26a、第2通过限制部件26b、第3通过限制部件26c)，形成有使产生前述X射线衍射的X射线通过的直线状的狭缝(例如，后述的第1狭缝24a、第2狭缝24b、第3狭缝24c)；二维检测器(例如，后述的第1二维检测器18a、第2二维检测器18b)，在检测区域内检测通过了前述狭缝的X射线；及，轮廓计算部(例如，后述的轮廓计算部44)，基于由前述二维检测器检测出的二维X射线像，计算出衍射轮廓，该衍射轮廓表示相对于前述被测定物的衍射角的X射线强度；并且，前述通过限制部件，存在多个并分别设置在对应于不同的衍射角的多个出射光轴上，多个各前述通过限制部件中的前述狭缝，配置为相对于与前述入射光轴及自身所对应的前述出射光轴的双方正交的正交方向(例如，后述的正交方向A)，至少向自身所对应的前述出射光轴的轴旋转方向倾斜(例如，后述的倾斜角φ)，前述二维检测器，区分多个各前述通过限制部件各自所对应的通过X射线而分别检测该通过X射线的强度，前述轮廓计算部，基于前述二维检测器的输出，区分多个各前述通过限制部件各自的通过X射线而分别计算出该通过X射线的衍射轮廓。