[发明专利]X射线衍射测定装置及方法

权利要求书

1.一种X射线衍射测定装置，基于由位于入射光轴与出射光轴的交叉位置的被测定物产生的X射线衍射，来测定前述被测定物的特性，所述X射线衍射测定装置的特征是包括：

通过限制部件，形成有使产生前述X射线衍射的X射线通过的直线状的狭缝；

二维检测器，在检测区域内检测通过了前述狭缝的X射线；及，

轮廓计算部，基于由前述二维检测器检测出的二维X射线像，计算出衍射轮廓，该衍射轮廓表示相对于前述被测定物的衍射角的X射线强度；并且，

前述通过限制部件，存在多个并分别设置在对应于不同的衍射角的多个出射光轴上，

多个各前述通过限制部件中的前述狭缝，配置为相对于与前述入射光轴及自身所对应的前述出射光轴的双方正交的正交方向，至少向自身所对应的前述出射光轴的轴旋转方向倾斜，

前述二维检测器，区分多个各前述通过限制部件各自所对应的通过X射线而分别检测该通过X射线的强度，

前述轮廓计算部，基于前述二维检测器的输出，区分多个各前述通过限制部件各自的通过X射线而分别计算出该通过X射线的衍射轮廓。

2.根据权利要求1所述的X射线衍射测定装置，其特征是，前述二维检测器包括配置在X射线衍射峰中的低角峰的位置的第1二维检测器、及配置在X射线衍射峰中的高角峰的位置的第2二维检测器，与前述第2二维检测器相比，前述第1二维检测器的前述检测区域窄且空间分辨率高。

3.根据权利要求1所述的X射线衍射测定装置，其特征是，前述通过限制部件包括：第1形态的通过限制部件，设置在与超低角的衍射角对应的出射光轴上；及，第2形态的通过限制部件，设置在与比前述超低角更广角的衍射角对应的出射光轴上。

4.根据权利要求3所述的X射线衍射测定装置，其特征是，前述二维检测器包括配置在X射线衍射峰中的低角峰的位置的第1二维检测器、及配置在X射线衍射峰中的高角峰的位置的第2二维检测器，与前述第2二维检测器相比，前述第1二维检测器的前述检测区域窄且空间分辨率高，

前述第1二维检测器，检测来自符合前述第1形态的一个通过限制部件即第1通过限制部件的通过X射线的强度，

前述第2二维检测器，检测来自符合前述第2形态的两个通过限制部件即第2通过限制部件及第3通过限制部件的通过X射线的强度。

5.根据权利要求4所述的X射线衍射测定装置，其特征是，前述第1通过限制部件、前述第2通过限制部件及前述第3通过限制部件，配置为能够调节与自身所对应的前述出射光轴方向正交的面内方向的位置及前述出射光轴方向的位置，以及绕前述出射光轴旋转的姿势中的至少任一位置和/或前述姿势，

所述X射线衍射测定装置，设置有伺服机构，所述伺服机构基于前述轮廓计算部的输出来调节前述第1通过限制部件、前述第2通过限制部件及前述第3通过限制部件的前述位置和/或前述姿势。

6.根据权利要求5所述的X射线衍射测定装置，其特征是，前述伺服机构，针对前述第1通过限制部件、前述第2通过限制部件及前述第3通过限制部件，独立且分别地调节前述第1通过限制部件、前述第2通过限制部件及前述第3通过限制部件的前述位置和/或前述姿势。

7.根据权利要求1所述的X射线衍射测定装置，其特征是，前述通过限制部件是钨的板材。

8.一种X射线衍射测定方法，基于由位于入射光轴与出射光轴的交叉位置的被测定物产生的X射线衍射，来测定前述被测定物的特性，所述X射线衍射测定方法的特征是包括：

通过限制部件预配置工序，将形成有使产生前述X射线衍射的X射线通过的直线状的狭缝的多个通过限制部件，分别配置在对应于不同的衍射角的多个出射光轴上，使各个前述狭缝相对于与前述入射光轴及自身所对应的前述出射光轴的双方正交的正交方向，至少向自身所对应的前述出射光轴的轴旋转方向倾斜；

衍射轮廓计算工序，借由配置在X射线衍射峰中的低角峰的位置并且自身的检测区域相对窄且空间分辨率高的第1二维检测器、及配置在X射线衍射峰中的高角峰的位置并且自身的检测区域相对广且空间分辨率低的第2二维检测器，来检测通过了前述通过限制部件预配置工序中所配置的多个各前述通过限制部件的前述狭缝的X射线，并基于由该检测获得的二维X射线像，区分多个各前述通过限制部件各自的通过X射线而分别计算出该通过X射线的衍射轮廓，该衍射轮廓表示相对于前述被测定物的衍射角的X射线强度；

评价工序，针对前述衍射轮廓计算工序中所计算出的多个各前述通过限制部件各自的通过X射线的衍射轮廓，评价该衍射轮廓是否满足可作为衍射角分辨率和/或空间分辨率的测定结果来使用的条件；及，

配置调整工序，根据前述评价工序中的评价结果，针对前述多个通过限制部件，变更前述通过限制部件预配置工序中的配置来进行调整。