[发明专利]叉指换能结构、谐振器、谐振器制作方法及滤波器

说明书

本发明公开了一种叉指换能结构、谐振器、谐振器制作方法及滤波器，涉及谐振器领域，该叉指换能结构包括：平行设置的第一汇流排和第二汇流排，第一汇流排上设置有多个第一电极、第二汇流排上设置有多个第二电极，多个第一电极和多个第二电极相对间隔设置在第一汇流排和第二汇流排之间的中间区域；中间区域包含叉指区和不属于所述叉指区的单极区；单极区中各第一电极之间和各第二电极之间通过多个金属条连接，并在各电极的电极端以及对应电极处设置金属加厚层。在本发明中通过将单极区中各第一电极之间和各第二电极之间通过多个金属条连接，并设置金属加厚层，利用上述结构使单极区和叉指区声速不同，从而对横向模式波纹进行有效抑制。

技术领域

本发明涉及谐振器技术领域，尤其涉及一种叉指换能结构、谐振器、谐振器制作方法及滤波器。

背景技术

随着通信技术从2G发展至5G，通信频段数目逐步增加。为了提高智能手机对不同通信制式的兼容能力，5G智能手机所需要的滤波器用量将显著上升，推动滤波器市场大规模增长。无线通信终端中目前广泛应用的射频滤波器是声表滤波器，负责接收和发射通道的射频信号滤波，将输入的多种射频信号中特定频率的信号输出。同时，随着移动通讯技术的持续发展和射频前端模组化发展，高端应用的普及对滤波器和谐振器的需求趋向复杂化，高端化，小型化。

基于具有薄膜形式的压电材料的高性能声表滤波器技术制作的谐振器，该谐振器组成的射频滤波器，实现低插损，通带平滑，高Q值(Q值为电感器件在某一频率下，感抗与等效损耗电阻之比)以及出色的低频率温度等特性。

高性能声表面波谐振器是一种相对新型的谐振器，由于其压电材料为复合多层材料键合而成，声波的传播及工作模式不同于常规声表面波谐振器，如果仍然采用常规声表面波谐振器的设计方法设计出的和射频滤波器会出现很强的横向模式波纹，通带杂波严重，将会导致整体器件性能的恶化。

上述内容仅用于辅助理解本发明的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种叉指换能结构、谐振器、谐振器制作方法及滤波器，旨在解决现有技术中通过常规声表面波谐振器的设计方法设计出的和射频滤波器会出现很强的横向模式波纹的技术问题。

为实现上述目的，本发明提出一种叉指换能结构，所述叉指换能结构包括：平行设置的第一汇流排和第二汇流排，所述第一汇流排上设置有多个第一电极、所述第二汇流排上设置有多个第二电极，所述多个第一电极和所述多个第二电极相对间隔设置在所述第一汇流排和第二汇流排之间的中间区域；

所述中间区域包含叉指区和不属于所述叉指区的单极区，所述叉指区为所述多个第一电极远离所述第一汇流排的端部边缘和所述多个第二电极远离所述第二汇流排的端部边缘之间形成的区域；

单极区中各第一电极之间和各第二电极之间通过多个金属条连接；

在所述叉指区内，各第一电极的电极端以及与所述第一电极相邻的第二电极的横向对应位置处设置金属加厚层；

各第二电极的电极端以及与所述第二电极相邻的第一电极的横向对应位置处设置金属加厚层。

可选地，所述单极区包括第一单极区和第二单极区，在所述第一单极区内各相邻第一电极之间通过多个金属条连接，在所述第二单极区内各相邻第二电极之间通过多个金属条连接。

可选地，所述各相邻第一电极之间和/或各相邻第二电极之间设置的金属条数目相同。

可选地，所述金属条为平行设置的矩形状金属条，或倾斜预设角度设置的矩形状金属条。

可选地，在切斜预设角度设置的矩形状金属条中，所述第一电极和/或所述第二电极两侧的金属条与对应的所述第一电极和/或第二电极上相同的位置连接。

可选地，所述金属条为梯形状金属条时，第一电极两侧或第二电极两侧连接的金属条的下底边指向上底边的方向相同或相反。