[发明专利]叉指换能结构、谐振器、谐振器制作方法及滤波器

权利要求书

1.一种叉指换能结构，所述叉指换能结构包括：平行设置的第一汇流排和第二汇流排，所述第一汇流排上设置有多个第一电极、所述第二汇流排上设置有多个第二电极，其特征在于，所述多个第一电极和所述多个第二电极相对间隔设置在所述第一汇流排和第二汇流排之间的中间区域；

所述中间区域包含叉指区和不属于所述叉指区的单极区，所述叉指区为所述多个第一电极远离所述第一汇流排的端部边缘和所述多个第二电极远离所述第二汇流排的端部边缘之间形成的区域；

单极区中各第一电极之间和各第二电极之间通过多个金属条连接；

在所述叉指区内，各第一电极电极端的表面设有金属加厚层；

所述第二电极上与所述第一电极的电极端横向对应位置处的表面设有所述金属加厚层；

各第二电极电极端的表面设有所述金属加厚层；

所述第一电极上与所述第二电极电极端的横向对应位置处的表面设有所述金属加厚层。

2.如权利要求1所述叉指换能结构，其特征在于，所述单极区包括第一单极区和第二单极区，在所述第一单极区内各相邻第一电极之间通过多个金属条连接，在所述第二单极区内各相邻第二电极之间通过多个金属条连接。

3.如权利要求2所述叉指换能结构，其特征在于，所述各相邻第一电极之间和/或各相邻第二电极之间设置的金属条数目相同。

4.如权利要求3所述叉指换能结构，其特征在于，所述金属条为平行设置的矩形状金属条，或倾斜预设角度设置的矩形状金属条。

5.如权利要求4所述叉指换能结构，其特征在于，在切斜预设角度设置的矩形状金属条中，所述第一电极和/或所述第二电极两侧的金属条与对应的所述第一电极和/或第二电极上相同的位置连接。

6.如权利要求3所述叉指换能结构，其特征在于，所述金属条为梯形状金属条时，第一电极两侧或第二电极两侧连接的金属条的下底边指向上底边的方向相同或相反。

7.如权利要求2所述叉指换能结构，其特征在于，所述第一电极和/或所述第二电极两侧的金属条间隔相同距离交错设置在对应的所述第一电极两侧和/或第二电极两侧。

8.如权利要求1所述叉指换能结构，其特征在于，所述第一电极之间或所述第二电极之间通过多个金属条贯穿连接；其中各金属条均贯穿除两侧的第一电极或第二电极外的其他电极。

9.如权利要求1所述叉指换能结构，其特征在于，所述金属加厚层设置在所述第一电极和所述第二电极的上表面或下表面。

10.如权利要求1所述叉指换能结构，其特征在于，相邻的各第一电极之间的电极间隙和相邻的各第二电极之间的电极间隙之间设有假指条，所述假指条与第一电极或第二电极对应设置。

11.如权利要求10所述叉指换能结构，其特征在于，所述假指条与所述第一汇流排或所述第二汇流排连接，所述假指条与电极之间设置的所述多个金属条连接。

12.一种谐振器，其特征在于，所述谐振器包括：硅衬底和以此设置在所述硅衬底上的能量陷阱层、二氧化硅层、压电单晶层、权利要求1-11任一项所述的叉指换能结构以及设置在所述叉指换能结构上的钝化层。