[发明专利]miniLED晶圆的测试方法及装置

权利要求书

1.一种miniLED晶圆的测试方法，其特征在于，包括：

S1：以预设电信号驱动晶圆上的目标miniLED芯片，以测量该目标miniLED芯片的当前光电参数，所述当前光电参数与预设电信号一一对应；

S2：实时判断当前光电参数是否位于预设阈值区间；

S3：判断为是时，将该目标miniLED芯片的另一光电参数作为新的当前光电参数，并进入步骤S1，直至该miniLED芯片的所有光电参数均完成测量，则进入步骤S4；

S4：判断为否时，将该晶圆上的另一miniLED芯片作为新的目标miniLED芯片，并进入步骤S1，直至晶圆上的所有miniLED芯片均完成测量。

2.如权利要求1所述的miniLED晶圆的测试方法，其特征在于，在步骤S1之前还包括：以预设色阶的模板对晶圆进行扫描，获取所有miniLED芯片的位置坐标。

3.如权利要求2所述的miniLED晶圆的测试方法，其特征在于，以预设色阶的模板对晶圆进行扫描，获取所有miniLED芯片的位置坐标的步骤包括：

以预设色阶的模板对晶圆进行扫描，获取晶圆上miniLED芯片的位置坐标，得到坐标库；

实时判断该坐标库是否完整覆盖该晶圆上的所有miniLED芯片的位置坐标；

判断为是时，停止扫描；

判断为否时，以另一预设色阶的模板对晶圆进行扫描，获取未覆盖位置处的miniLED芯片的位置坐标，并更新坐标库。

4.如权利要求1所述的miniLED晶圆的测试方法，其特征在于，所述预设电信号包括电流和/或电压。

5.如权利要求1所述的miniLED晶圆的测试方法，其特征在于，miniLED芯片的光电参数包括VF、VR、IF、IR、WLD、LOP、ESD中的一种或多种。

6.一种miniLED晶圆的测试装置，其特征在于，包括：

测试模块，用于以预设电信号驱动目标miniLED芯片，以测量该miniLE芯片的当前光电参数；

判定模块，用于将测试模块测量的当前光电参数与预设阈值范围进行比较；

控制模块，用于根据判定模块的比较结果生成控制信号，并输送至所述测试模块；

当测试模块测量的当前光电参数位于预设阈值区间时，将该目标miniLED芯片的另一光电参数作为新的当前光电参数进行测量；直至该miniLED芯片的所有光电参数均完成测量后进入另一miniLED芯片的测量；

当测试模块测量的当前光电参数不位于预设阈值区间时，将另一miniLED芯片作为新的目标miniLED芯片，测量其当前光电参数，直至晶圆上的所有miniLED芯片均完成测量。

7.如权利要求1所述的miniLED晶圆的测试装置，其特征在于，还包括扫描模块，其用于以预设色阶的模板对晶圆进行扫描，获取miniLED芯片的位置坐标。

8.如权利要求7所述的miniLED晶圆的测试装置，其特征在于，所述控制模块还用于比较扫描模块获取位置坐标所形成的坐标库是否完整覆盖该晶圆上的所有miniLED的位置坐标；

所述控制模块还用于根据判定模块的比较结果生成控制信号，并输送至所述扫描模块；

当扫描模块所得的坐标库完整覆盖该晶圆上的所有miniLED芯片的位置坐标时，控制模块向所述扫描模块发出停止扫描的控制信号；

当扫描模块所得的坐标库未完整覆盖该晶圆上的所有miniLED芯片的位置坐标时，控制模块向所述扫描模块发出更换模板，并继续扫描的控制信号。

9.如权利要求8所述的miniLED晶圆的测试装置，其特征在于，所述扫描模块共设有四个不同色阶的模板。