[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理方法，为一面通过搬送机构将长条的片状基板于长条方向上搬送，一面通过处理机构对上述片状基板的长条方向的每一部分实施既定的处理者，其特征在于，包括：

搬送阶段，于通过上述处理机构实施上述既定的处理的期间内，通过上述搬送机构一面对上述片状基板赋予既定的张力，一面将上述片状基板按照既定速度于上述长条方向上搬送；

卡留阶段，于使由上述搬送机构进行的搬送动作暂时性地停止时，以使上述片状基板上的长条方向的指定部分对准于配置在上述片状基板的搬送路径中的既定位置的卡留机构的方式进行定位，并利用上述卡留机构将上述片状基板的上述指定部分卡留；以及

张力缓和阶段，于上述片状基板的搬送方向上，上述既定位置的上游侧及下游侧的至少一者，缓和对上述片状基板赋予的上述既定的张力。

2.如权利要求1所述的基板处理方法，其中

上述张力缓和阶段为于利用上述卡留机构的上述片状基板的卡留持续既定的卡留时间以上的情形时执行。

3.一种基板处理装置，为将长条的片状基板于长条方向上搬送并对上述片状基板实施既定的处理者，其特征在于，具备：

处理机构，对上述片状基板的长条方向的每一部分实施上述既定的处理；

搬送机构，以使上述片状基板按照既定的速度通过上述处理机构的方式，将上述片状基板于上述长条方向上搬送；

储存装置，设置于上述片状基板的搬送路径中的上述处理机构的上游侧及下游侧的至少一者，且能够于对上述片状基板赋予既定的张力的状态下在既定的长度的范围内储存上述片状基板；以及

控制部，以如下方式控制上述储存装置，即，于为了中断由上述处理机构进行的上述既定的处理，而使由上述搬送机构进行的上述片状基板的搬送停止的情形时，缓和对储存于上述储存装置的上述片状基板赋予的上述既定的张力。

4.如权利要求3所述的基板处理装置，其中

上述储存装置具备：多个张力滚轮，将上述片状基板于上述长条方向上弯折数次地加以支持，并且为了上述片状基板的储存长度的调整而设为可动；以及张力调整机构，调整对架设于该多个张力滚轮的各者的上述片状基板赋予的张力；

上述控制部于由上述搬送机构进行的上述片状基板的搬送停止之后，控制上述张力调整机构，缓和对上述片状基板赋予的上述既定的张力。

5.如权利要求4所述的基板处理装置，其中，

进一步具备卡留机构，该卡留机构设置于上述片状基板搬入至上述储存装置的既定位置、或上述片状基板自上述储存装置搬出的既定位置，且将上述片状基板于上述既定位置暂时性地卡留，

上述控制部与由上述搬送机构进行的上述片状基板的搬送的停止同步地，控制上述卡留机构而将上述片状基板卡留于上述既定位置。