[发明专利]一种晶圆键合设备以及晶圆键合方法

权利要求书

1.一种晶圆键合设备，其特征在于，包括：

第一固定装置，用于固定第一晶圆；所述第一晶圆上设置有第一对准标记；

第二固定装置，用于固定第二晶圆；所述第二晶圆上设置有第二对准标记；所述第二固定装置与所述第一固定装置相对设置；

反射装置，位于所述第一固定装置和所述第二固定装置之间；

标记读取器，利用反射装置，读取所述第一对准标记和所述第二对准标记的位置信息，以对固定在所述第一固定装置上的所述第一晶圆和固定在所述第二固定装置上的所述第二晶圆进行对准；

加热装置，用于对所述第一晶圆进行加热，使所述第一晶圆发生热膨胀，以使所述第一对准标记处于所述标记读取器视野的中心位置；或者，

对所述第二晶圆进行加热，使所述第二晶圆发生热膨胀，以使所述第二对准标记处于所述标记读取器视野的中心位置。

2.根据权利要求1所述的晶圆键合设备，其特征在于，

所述第一对准标记和所述第二对准标记的个数均大于或等于2。

3.根据权利要求1所述的晶圆键合设备，其特征在于，

所述标记读取器，利用反射装置，读取所述第一对准标记和所述第二对准标记的位置信息；包括：

检测光入射至所述第一对准标记和所述第二对准标记，所述第一对准标记和所述第二对准标记对检测光进行反射，反射后的检测光经反射装置的反射后进入所述标记读取器，以读取所述第一对准标记和所述第二对准标记的位置信息。

4.根据权利要求3所述的晶圆键合设备，其特征在于，

所述反射装置包括第一反射面和第二反射面；

通过所述第一对准标记反射后的检测光经所述第一反射面反射后进入所述标记读取器；

通过所述第二对准标记反射后的检测光经所述第二反射面反射后进入所述标记读取器。

5.根据权利要求4所述的晶圆键合设备，其特征在于，

所述反射装置的形状呈Σ状。

6.根据权利要求4所述的晶圆键合设备，其特征在于，

所述第一反射面与所述第一晶圆的平面的夹角为45°；

所述第二反射面与所述第二晶圆的平面的夹角为45°。

7.根据权利要求4所述的晶圆键合设备，其特征在于，

所述第一反射面和所述第二反射面上形成有反射层。

8.根据权利要求1所述的晶圆键合设备，其特征在于，还包括：

计算装置，用于对所述标记读取器读取到的所述第一对准标记和所述第二对准标记的位置信息与所述标记读取器视野的中心位置的偏移量进行计算，根据计算结果，对固定在所述第一固定装置上的所述第一晶圆和固定在所述第二固定装置上的所述第二晶圆进行对准。

9.一种晶圆键合方法，其特征在于，应用如权利要求1-8中任一所述的设备，所述方法包括：

将第一晶圆固定在第一固定装置上；所述第一晶圆上设置有第一对准标记；

将第二晶圆固定在第二固定装置上；所述第二晶圆上设置有第二对准标记；所述第二固定装置与所述第一固定装置相对设置；

将反射装置设置在所述第一固定装置和所述第二固定装置之间；

标记读取器利用反射装置，读取所述第一对准标记和所述第二对准标记的位置信息；

利用加热装置对所述第一晶圆进行加热，使所述第一晶圆发生热膨胀，以使所述第一对准标记处于所述标记读取器视野的中心位置；或者，

对所述第二晶圆进行加热，使所述第二晶圆发生热膨胀，以使所述第二对准标记处于所述标记读取器视野的中心位置。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，

所述第一对准标记和所述第二对准标记的个数均大于或等于2。