[发明专利]圆筒型的溅射靶、烧结体、成形体及其制造方法

权利要求书

1.一种圆筒型溅射靶，其特征在于，具有：

隔着间隔而相邻的多个含有氧化铟锡或氧化铟镓锌的圆筒型烧结体；

圆筒基材，其配置于所述圆筒型烧结体的中空部分；以及，

焊料，其在所述圆筒型烧结体和所述圆筒基材之间钎焊所述圆筒型烧结体和所述圆筒基材，

所述圆筒型烧结体的相对密度为99.7％以上且99.9％以下，

所述相邻的多个所述圆筒型烧结体之间的相对密度之差为0.1％以下，

所述焊料的热导率低于所述圆筒基材的热导率，

所述焊料的导电性低于所述圆筒基材的导电性，

所述圆筒型烧结体的厚度为6.0mm以上且15.0mm以下，

所述相邻的多个所述圆筒型烧结体之间的间隔为0.2mm以上且0.5mm以下，

所述圆筒型烧结体的表面的平均面粗糙度为0.5μm以下。

2.一种圆筒型成形体的制造方法，其特征在于，

使用喷雾干燥机来将原料粉末进行干燥/造粒，

将被干燥/造粒的所述原料粉末填充于橡胶模具，

利用100MPa以上且200MPa以下的冷等静压加压，形成相对密度为54.5％以上且58.0％以下的氧化铟锡或氧化铟镓锌的圆筒型烧结体，

将所述圆筒型烧结体配置于电炉，

以300℃/小时以下的速度使所述电炉升温，

在所述圆筒型烧结体进入开始热收缩的温度区域之前，在升温的途中保持所述电炉的温度，

在氧气气氛、1500℃以上且1600℃以下、10小时以上且20小时以下的条件下进行烧结，

以600℃/小时以下的速度使所述电炉降温。