[实用新型]一种用于低温与高温刻蚀工艺的电极结构

权利要求书

1.一种用于低温与高温刻蚀工艺的电极结构，包括电极本体，所述电极本体包括从上到下依次设置的加热台（50）和水冷板（60），其特征在于：所述加热台（50）底部设置有氦气输送外接管、测温器安装管、加热组件出线管，其中：

所述氦气输送外接管、所述测温器安装管、所述加热组件出线管均设置为套管结构，所述套管结构包括同轴安装的内管（100）和外管（300），所述内管（100）顶端与所述加热台（50）下表面接触，所述外管（300）顶端与所述水冷板（60）下表面接触；

所述套管结构在远离所述水冷板（60）的位置处，于所述内管（100）的外壁与所述外管（300）的内壁之间，以及所述套管结构的外管（300）与所述水冷板（60）下表面接触位置均设置有密封组件。

2.根据权利要求1所述的一种用于低温与高温刻蚀工艺的电极结构，其特征在于：所述电极本体的正面分别设置有晶圆置放部（509）以及氦气输出区域（503），背面设置有氦气输送管（507），所述氦气输送管（507）外部套装有所述氦气输送外接管；所述氦气输送管（507）通过所述电极本体中布置的氦气输送流路与所述氦气输出区域（503）连通；

所述氦气输送流路包括有分流管（511）以及若干氦气分流支路（504）；所述分流管（511）具有一个氦气入口以及两个以上的氦气出口，所述分流管（511）的氦气入口与所述的氦气输送管（507）出口端连通，所述分流管（511）的氦气出口与各氦气分流支路（504）的入口一一对应连通，而各氦气分流支路（504）的出口则与所述的氦气输出区域（503）连通。

3.根据权利要求2所述的一种用于低温与高温刻蚀工艺的电极结构，其特征在于：所述加热台（50）与所述水冷板（60）之间设置有导热环（70），其中：

所述加热台（50）的上表面为前述的电极本体正面，所述加热台（50）的下表面为前述的电极本体背面；

所述加热台（50）的下表面，在中部位置处设置有导热环嵌槽（508），所述导热环嵌槽（508）槽深为h；

所述导热环（70）嵌装在所述导热环嵌槽（508）中，且所述导热环（70）的厚度为h1，h1h；

所述加热台（50）的外侧区域与所述水冷板（60）的外侧区域之间通过法兰配合连接的方式连接成一体。

4.根据权利要求3所述的一种用于低温与高温刻蚀工艺的电极结构，其特征在于：所述测温器安装管设置个数为2。

5.根据权利要求4所述的一种用于低温与高温刻蚀工艺的电极结构，其特征在于：所述电极本体，沿着中心位置贯穿设置有中心圆孔（601），并在所述中心圆孔（601）的外围，分别设置有第一圆孔（606）、第二圆孔（607）、第三圆孔（608）、第四圆孔（609）；

所述第一圆孔（606）、所述第二圆孔（607）、所述第三圆孔（608）、所述第四圆孔（609），均依次贯穿所述水冷板（60）、所述导热环（70）设置，并分别用于安装一个所述测温器安装管、所述氦气输送外接管、所述加热组件出线管、另一个所述测温器安装管。

6.根据权利要求5所述的一种用于低温与高温刻蚀工艺的电极结构，其特征在于：所述加热台（50）包括能够连接成一体的上层板（501）和下层板（502）；所述上层板（501）盖设在所述下层板（502）上方，所述下层板（502）内部安装有加热丝（103），所述加热丝（103）从所述加热组件出线管出线。

7.根据权利要求6所述的一种用于低温与高温刻蚀工艺的电极结构，其特征在于：所述氦气输送管（507）包括呈细圆柱状的第一细轴部和呈圆盘状的第一远端圆盘部，所述第一细轴部一端与所述下层板（502）连接，另一端为所述第一远端圆盘部，所述第一远端圆盘部与进气接口（102）连接。