[实用新型]一种半导体加工用临时存放装置

权利要求书

1.一种半导体加工用临时存放装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内腔的顶部与底部均固定安装有轴座(3)，所述轴座(3)的内侧转动安装有转杆(13)，所述转杆(13)的表面固定套设有固定环套(7)，所述固定环套(7)的两侧均固定安装有固定座(16)，所述固定座(16)的外侧转动安装有调节轴(6)，所述调节轴(6)的外侧转动安装有放置板(5)，所述箱体(1)内腔底部的右侧固定安装有过滤箱(12)，所述过滤箱(12)内腔的右侧固定安装有吸尘机体(10)，所述固定座(16)的顶部固定安装有缓冲机构(18)，所述缓冲机构(18)的内腔固定安装有缓冲弹簧(21)，所述缓冲弹簧(21)的外侧固定连接有卡块(20)，所述卡块(20)的外侧固定连接有缓冲块(2)，所述缓冲块(2)的外侧固定连接有防滑垫片(4)，所述箱体(1)内腔的两侧均固定安装有挡板(17)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用临时存放装置，其特征在于：所述放置板(5)的顶部开设有凹槽(22)，所述放置板(5)内腔底部的两侧均开设有通孔(23)，所述通孔(23)的表面固定安装有通风网(24)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用临时存放装置，其特征在于：所述箱体(1)内腔底部的右侧固定安装有吹风装置(15)，所述吹风装置(15)内腔的中心处固定安装有输出轴(14)，所述输出轴(14)的两侧均固定安装有扇叶。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用临时存放装置，其特征在于：所述吸尘机体(10)的右侧固定安装有排风管(9)，所述排风管(9)的右侧延伸至箱体(1)的外侧。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用临时存放装置，其特征在于：所述过滤箱(12)内腔的左侧固定安装有过滤吸附板(11)，所述过滤箱(12)的顶部固定安装有吸尘板(8)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用临时存放装置，其特征在于：所述缓冲机构(18)的外侧开设有卡槽(19)，所述卡块(20)活动卡设在卡槽(19)的内腔。