[实用新型]一种用于晶圆覆膜加工的薄膜横向张紧力调控设备

权利要求书

1.一种用于晶圆覆膜加工的薄膜横向张紧力调控设备，其特征在于：包括机架，所述机架上安装有用于传输薄膜的辊轮，所述机架上还安装有调节机构，所述调节机构包括两个沿平行于所述辊轮的方向同步且反向运动的输出端；所述调节机构的两个输出端上均安装有用于压紧所述薄膜的压紧机构。

2.根据权利要求1所述的调控设备，其特征在于：所述调节机构包括双向丝杆和调节电机；所述双向丝杆可转动连接在所述机架上，且所述双向丝杆与所述辊轮平行且相对布置，所述双向丝杆上两段旋向相反的螺纹上均连接有作为所述输出端的传动螺母；所述调节电机固定安装在所述机架上，且所述调节电机与所述双向丝杆机械连接；且所述压紧机构与所述机架之间设置有平行于所述辊轮的导向件。

3.根据权利要求2所述的调控设备，其特征在于：所述调节电机与所述双向丝杆通过联轴器连接。

4.根据权利要求2所述的调控设备，其特征在于：所述压紧机构包括固定在所述传动螺母上的底座、安装在所述底座上的直线气缸以及安装在所述直线气缸的输出端上的压紧块。

5.根据权利要求4所述的调控设备，其特征在于：所述压紧块由防滑、防静电材料制造。

6.根据权利要求2所述的调控设备，其特征在于：所述导向件包括平行于所述辊轮的导轨以及连接在所述导轨上的滑块，所述压紧机构与所述滑块固定连接。

7.根据权利要求6所述的调控设备，其特征在于：所述导轨上设置有两个所述滑块，两个所述压紧机构分别与两个所述滑块固定连接。

8.根据权利要求1所述的调控设备，其特征在于：所述辊轮为特氟龙辊轮。