[实用新型]一种具有稳定结构的晶圆检测装置

说明书

本实用新型公开了一种具有稳定结构的晶圆检测装置，其包括机架，压接导通组件，包括用于压接导通待测样件的压头单元；多轴位移补偿组件，包括用于承载待测样件的载台和用于调节载台空间位置的第二多轴位移单元；光机检测组件，包括用于检测点亮后的待测样件的检测光机；相机对位组件，包括用于对待测样件进行对位的对位相机；所述机架上设置有平台和支架，所述平台通过隔振器与所述机架连接，所述支架与所述机架连接，所述平台上设置有所述压接导通组件、所述多轴位移补偿组件和所述光机检测组件，所述支架上设置有所述相机对位组件。本实用新型不仅可以实现对晶圆的导通检测，而且能够有效降低装置在运行过程中存在的共振风险。

技术领域

本实用新型公开了一种晶圆检测装置，属于显示面板检测技术领域，具体公开了一种具有稳定结构的晶圆检测装置。

背景技术

随着AR/VR市场的快速发展，可穿戴设备需求量日益增加，微显示器市场在未来整体的市场需求量大幅提高。目前，MicroOLED作为一种主流的显示技术相对于其它微显示技术虽然具有无与伦比的优势，但是MicroOLED微显示器在出货之前，均需要进行DeMura和AOI的修复与检测，才可以有效地降低配至有MicroOLED微显示器设备的故障率。

由于MicroOLED微显示器像素尺寸微缩化，像素尺寸大小低至1微米，显示器PPI（pixel per inch）极大提高，高达10000，亮度相对于LCD显著提高。这些异于常规显示器的性能，给MicroOLED微显示器的修复与检测带来了挑战。目前常规的晶圆检测系统通常包括机架，机架上集成有压接导通组件、多轴位移补偿组件、光机检测组件和相机对位组件，上述晶圆检测系统虽然可以实现MicroOLED微显示器晶圆的点灯测试，但是当检测过程中机架受到外界环境振动影响以及位移台突然启停所带来的振动影响，可能造成相机对位系统的本征模态和晶圆检测系统的本征模态相近，从而存在共振的风险。

实用新型内容

针对现有技术中存在的技术问题，本实用新型提供了一种具有稳定结构的晶圆检测装置，其不仅可以实现对晶圆的导通检测，而且能够有效降低晶圆检测装置在运行过程中存在的共振风险。

本实用新型公开了一种具有稳定结构的晶圆检测装置，其包括机架，压接导通组件，包括用于压接导通待测样件的压头单元；多轴位移补偿组件，包括用于承载待测样件的载台和用于调节载台空间位置的第二多轴位移单元；光机检测组件，包括用于检测点亮后的待测样件的检测光机；相机对位组件，包括用于对待测样件进行对位的对位相机；所述机架上设置有平台和支架，所述平台通过隔振器与所述机架连接，所述支架与所述机架连接，所述平台上设置有所述压接导通组件、所述多轴位移补偿组件和所述光机检测组件，所述支架上设置有所述相机对位组件。

在本实用新型的一种优选实施方案中，所述平台上设置有与所述支架平行布置的第一龙门架组件和第二龙门架组件，所述第一龙门架组件上设置有所述压接导通组件，所述第二龙门架组件上设置有所述光机检测组件。

在本实用新型的一种优选实施方案中，所述第二龙门架组件上设置有多套光机检测组件。

在本实用新型的一种优选实施方案中，所述平台上设置有多套多轴位移补偿组件，每套多轴位移补偿组件对应一套相机对位组件以及一套光机检测组件，每套相机对位组件包括一个对位相机，每套光机检测组件包括一个或者多个检测光机。

在本实用新型的一种优选实施方案中，多轴位移补偿组件的个数与光机检测组件的个数相对应。

在本实用新型的一种优选实施方案中，所述第二龙门架组件上设置有复判光机，所述复判光机与所述对位相机位于同一侧，所述检测光机与所述压接导通组件位于同一侧。

在本实用新型的一种优选实施方案中，所述第一龙门架组件包括第一底座和第一横梁，所述第一底座在YOZ平面内的投影形状为梯形或三角形，所述第一横梁上设置有沿Z轴向布置的第三Z向直线模组，所述第三Z向直线模组的移动端设置有压头单元，所述压头单元为压接探针。