[实用新型]一种具有稳定结构的晶圆检测装置

权利要求书

1.一种具有稳定结构的晶圆检测装置，包括

机架（2），

压接导通组件，包括用于压接导通待测样件的压头单元；

多轴位移补偿组件，包括用于承载待测样件的载台和用于调节载台空间位置的第二多轴位移单元；

光机检测组件，包括用于检测点亮后的待测样件的检测光机（7）；

相机对位组件，包括用于对待测样件进行对位的对位相机（9）；

其特征在于：

所述机架（2）上设置有平台（3）和支架（11），所述平台（3）通过隔振器（4）与所述机架（2）连接，所述支架（11）与所述机架（2）连接，所述平台（3）上设置有所述压接导通组件、所述多轴位移补偿组件和所述光机检测组件，所述支架（11）上设置有所述相机对位组件。

2.根据权利要求1所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：所述平台（3）上设置有与所述支架（11）平行布置的第一龙门架组件和第二龙门架组件，所述第一龙门架组件上设置有所述压接导通组件，所述第二龙门架组件上设置有所述光机检测组件。

3.根据权利要求1所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：所述平台（3）上设置有多套多轴位移补偿组件，每套多轴位移补偿组件对应一套相机对位组件以及一套光机检测组件，每套光机检测组件包括一个或者多个检测光机（7）。

4.根据权利要求2所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：所述第二龙门架组件上设置有复判光机（12），复判光机（12）与对位相机（9）位于同一侧，检测光机（7）与压接导通组件位于同一侧。

5.根据权利要求1所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：所述第二多轴位移单元包括设置于机架（2）上的沿Y轴向布置的第二Y向直线模组(16)，第二Y向直线模组(16)的移动端连接有沿X轴向布置的第二X向直线模组(17)，第二X向直线模组(17)的移动端连接有能够绕Z轴旋转的旋转模组（18），旋转模组（18）的旋转端连接有载台。

6.根据权利要求2所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：所述第一龙门架组件包括第一底座（5）和第一横梁（19），所述第一底座（5）在YOZ平面内的投影形状为梯形或三角形，所述第一横梁（19）上设置有沿Z轴向布置的第三Z向直线模组，所述第三Z向直线模组的移动端设置有压头单元，所述压头单元为压接探针（6）。

7.根据权利要求2所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：所述第二龙门架组件包括第二底座（13）和第二横梁（15），所述第二底座（13）在YOZ平面内的投影形状为梯形或三角形，所述第二横梁（15）上设置有沿Z轴向布置的第四Z向直线模组（8），所述第四Z向直线模组（8）的移动端连接有所述检测光机（7）。

8.根据权利要求1所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：所述支架（11）上设置有用于调节对位相机（9）空间位置的第一多轴位移单元（10），所述第一多轴位移单元（10）包括沿X轴向布置的第一X向直线模组，所述第一X向直线模组的移动端连接有沿Y轴向布置的第一Y向直线模组，所述第一Y向直线模组的移动端连接有沿Z轴向布置的第一Z向直线模组，所述第一Z向直线模组的移动端连接有所述对位相机（9）。

9.根据权利要求1所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：晶圆检测装置的质心位于平台（3）的Z向中心轴线上。

10.根据权利要求1所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：还包括控制器，检测光机（7）、对位相机（9）、压接导通组件、第二多轴位移单元均与控制器电连接。