[实用新型]一种花篮自动取放压杆机构布局有效
| 申请号： | 202123026933.2 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN216719902U | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;黄亚云 | 申请（专利权）人： | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 花篮 自动 取放压杆 机构 布局 | ||
1.一种花篮自动取放压杆机构布局，其特征在于：包括支撑架(1)，所述支撑架(1)顶端安装有压杆储料机构(2)，所述压杆储料机构(2)一侧设置有压杆送料机构(4)，所述压杆送料机构(4)顶端安装有压杆取放机构(3)，所述压杆送料机构(4)远离压杆储料机构(2)的一侧安装有花篮定位机构(5)，所述定位机构(5)底端固定有升降架(7)，所述花篮定位机构(5)内部滑动连接有硅片花篮(6)。
2.根据权利要求1所述的一种花篮自动取放压杆机构布局，其特征在于：所述支撑架(1)远离压杆取放机构(3)的一侧通过螺纹连接有感应光幕(9)，所述感应光幕(9)共有两个并对称分布在支撑架(1)的两侧。
3.根据权利要求1所述的一种花篮自动取放压杆机构布局，其特征在于：所述定位机构(5)内部贯通连接有顶升气缸(8)，所述顶升气缸(8)的输出端与硅片花篮(6)的底端滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种花篮自动取放压杆机构布局，其特征在于：所述压杆取放机构(3)包括导向滑轨(10)，所述导向滑轨(10)外部滑动连接有驱动滑块(11)，所述导向滑轨(10)两侧均设置有拨动滑杆(12)，所述拨动滑杆(12)靠近导向滑轨(10)中心的一侧固定有清洁环(13)。
5.根据权利要求4所述的一种花篮自动取放压杆机构布局，其特征在于：所述拨动滑杆(12)远离导向滑轨(10)的一端转动连接有推拉杆(14)，所述推拉杆(14)远离导向滑轨(10)的一端固定有复位弹簧(15)。
6.根据权利要求5所述的一种花篮自动取放压杆机构布局，其特征在于：所述推拉杆(14)靠近导向滑轨(10)的一端固定有滑动塞(17)，所述滑动塞(17)外部滑动连接有空心柱(16)，所述空心柱(16)与拨动滑杆(12)转动连接，所述空心柱(16)内部存储有润滑液(18)。
7.根据权利要求6所述的一种花篮自动取放压杆机构布局，其特征在于：所述滑动塞(17)远离推拉杆(14)的一侧设置有雾化喷头(19)，所述雾化喷头(19)与空心柱(16)固定连接。
8.根据权利要求4所述的一种花篮自动取放压杆机构布局，其特征在于：所述导向滑轨(10)底端固定有回油桶(20)，所述回油桶(20)顶端固定有导油杆(21)，所述回油桶(20)内部贯通连接有过滤网(22)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
