[实用新型]一种真空镀膜用溅射靶座有效
| 申请号： | 202122936554.0 | 申请日： | 2021-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN216404522U | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 应世强;应佳根 | 申请（专利权）人： | 南京丙辰表面技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人： | 张丽丽 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 溅射 | ||
1.一种真空镀膜用溅射靶座，包括正极座(3)和靶材固定架(4)组成的靶材座(1)以及负极座(5)和基片固定架(6)组成的基片座(2)，所述正极座(3)和所述负极座(5)内均镶嵌不同磁极的磁性柱(22)，其特征在于，所述基片固定架(6)和所述负极座(5)之间通过推杆(10)推动可分离，所述推杆(10)通过连接座(16)与所述基片固定架(6)连接，所述连接座(16)通过轴承座(15)与所述基片固定架(6)转动连接，所述轴承座(15)由翻转电机(19)驱动进行转动，使所述基片固定架(6)可沿着长度方向的中轴线翻转。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用溅射靶座，其特征在于，所述基片固定架(6)的两侧设置有通过拉伸栓(12)连接的夹持贴片(14)，夹持贴片(14)位于基片固定架(6)内部，拉伸栓(12)位于基片固定架(6)的外侧，且夹持贴片(14)与基片固定架(6)内壁之间套接有弹簧(13)。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用溅射靶座，其特征在于，所述轴承座(15)的外壁套接齿轮盘(17)，齿轮盘(17)与连接在翻转电机(19)电机轴上的主动齿轮(18)啮合。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用溅射靶座，其特征在于，所述靶材固定架(4)的一侧开设用于通过靶材的插口(20)，且靶材固定架(4)的内壁一圈设置限位框(23)。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用溅射靶座，其特征在于，所述正极座(1)靠近靶材固定架(4)的一面铺设金属导热片(21)，金属导热片(21)覆盖在弯曲成S型的水冷管(25)表面，水冷管(25)伸出正极座(1)的进出口均连接有冷却管接口(24)。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用溅射靶座，其特征在于，所述靶材座(1)和基片座(2)上均设置有外延板(8)，外延边(8)之间通过调节丝杆(9)连接，且调节丝杆(9)穿过其中一个外延边(8)，伸出端套接有调节螺母(7)。
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