[实用新型]防喷溅去胶单元结构有效
| 申请号: | 202122820214.1 | 申请日: | 2021-11-17 |
| 公开(公告)号: | CN216095481U | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
| 发明(设计)人: | 魏猛;张爽;于昊 | 申请(专利权)人: | 沈阳芯达半导体设备有限公司 |
| 主分类号: | B08B15/02 | 分类号: | B08B15/02;B08B13/00;B01D5/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 成都华复知识产权代理有限公司 51298 | 代理人: | 李俊 |
| 地址: | 110000 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 喷溅 单元 结构 | ||
1.防喷溅去胶单元结构,包括防雾盒体(1)、防雾盒盖(5)和防雾盒手臂盖(9),其特征在于:所述防雾盒体(1)的底部表面开设有排液孔(10),所述防雾盒体(1)的一侧装配有CPU气缸防护板(3),且所述CPU气缸防护板(3)的一侧表面通过锁紧螺栓(4)固定在防雾盒体(1)的一侧表面,所述防雾盒体(1)的内部装配有防雾盒手臂盖(9);
所述防雾盒盖(5)的底部表面依次均匀设有安装边(8),所述防雾盒盖(5)通过安装边(8)配合与防雾盒体(1)的顶部栓接固定。
2.根据权利要求1所述的防喷溅去胶单元结构,其特征在于:所述防雾盒体(1)的下部侧表面对称式栓接有链接支架(2),所述链接支架(2)的一侧表面开设有安装孔。
3.根据权利要求1所述的防喷溅去胶单元结构,其特征在于:所述防雾盒盖(5)的顶部开设有开口槽,且所述防雾盒盖(5)在开口槽处的表面装配有法兰盘(6)。
4.根据权利要求1所述的防喷溅去胶单元结构,其特征在于:所述防雾盒盖(5)的顶部对称式安装有把手(7),且所述把手(7)的表面均套接有防滑垫。
5.根据权利要求1所述的防喷溅去胶单元结构,其特征在于:所述安装边(8)为防雾盒盖(5)底部表面一体化成型结构。
6.根据权利要求1所述的防喷溅去胶单元结构,其特征在于:所述防雾盒盖(5)内设有加强组件,所述加强组件包括内衬层(51)和抗压层(52),所述防雾盒盖(5)的内壁两侧分别铺设有内衬层(51),两侧所述内衬层(51)之间铺设有抗压层(52)。
7.根据权利要求6所述的防喷溅去胶单元结构,其特征在于:所述内衬层(51)为橡胶材料制成的一体化结构,所述抗压层(52)为钢片材料铺设而成。
8.根据权利要求1所述的防喷溅去胶单元结构,其特征在于:所述防雾盒体(1)内设有防水组件,所述防水组件包括阻水层(1001)、加强件(1002)和缓冲层(1003),所述防雾盒体(1)的壳体内部铺设有阻水层(1001),两侧所述阻水层(1001)之间依次均匀设有加强件(1002),所述加强件(1002)之间填充有缓冲层(1003)。
9.根据权利要求8所述的防喷溅去胶单元结构,其特征在于:所述阻水层(1001)的厚度为2mm~3mm,所述阻水层(1001)为玻璃棉材料铺设粘接而成。
10.根据权利要求8所述的防喷溅去胶单元结构,其特征在于:所述加强件(1002)为铝合金材料制成的一体化结构,所述缓冲层(1003)为泡棉材料填充而成。
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