[发明专利]用于形成阻隔层的方法在审
| 申请号： | 201380071599.1 | 申请日： | 2013-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN105308207A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | R·A·贝尔曼;T·K·庄;R·G·曼利;M·A·凯斯达;P·A·萨琴科 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/10 | 分类号： | C23C14/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐鑫;郭辉 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于形成密封阻隔层的方法包括从喷溅靶喷溅薄膜，其中所述喷溅靶包含喷溅材料，例如低Tg玻璃、低Tg玻璃的前体或者铜或锡的氧化物。在喷溅过程中，将阻隔层中形成的缺陷限制在窄范围内并且喷溅材料维持在小于200℃的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 形成 阻隔 方法 | ||
【主权项】：
一种形成密封阻隔层的方法，其包括：在喷溅室内提供基材和喷溅靶，所述喷溅靶包含形成在导热背板上的喷溅材料，所述喷溅材料包括低Tg玻璃、低Tg玻璃的前体或者铜或锡的氧化物；将所述喷溅材料维持在小于200℃；以及用能源喷溅所述喷溅材料，以在所述基材的表面上形成包含所述喷溅材料的阻隔层；在喷溅过程中，将所述阻隔层内的缺陷尺寸分布和缺陷密度分布维持在小于临界自密闭阈值，以通过所述阻隔层内的所述喷溅材料的摩尔体积膨胀实现空隙空间密闭。
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- 本发明的目的在于提供一种制备微孔贯通二氧化硅烧结体蒸镀材料的方法，改变了现有技术中二氧化硅烧结体蒸镀材料制备的一贯偏见，改进了工艺，在提高产品质量的前提下进一步降低了生产成本。为了达到所述效果，本发明采用如下技术方案：一种制备微孔贯通二氧化硅烧结体蒸镀材料的方法，依次包括以下步骤：1)制备高纯等径颗粒二氧化硅粉体；2)制备有机硅材料与高纯微粉相结合的粘合剂；3)颗粒涂敷；4)高压成型；5)中温烧结；6)检测包装。通过这样的技术方案，本发明用微孔贯通二氧化硅取代传统使用的熔融二氧化硅，使制备二氧化硅蒸镀材料的能耗、成本大幅度降低，完全适用生产高质量二氧化硅薄膜的要求。而且成本更低，产品质量更佳。
- 专用于连续波光纤激光熔覆的镍基金属陶瓷合金粉末-201310589434.5
- 柳岸敏;张翀昊 - 柳岸敏
- 2013-11-20 - 2014-02-26 - C23C14/10
- 本发明公开了一种专用于连续波光纤激光熔覆的镍基金属陶瓷合金粉末，按重量百分比计，包括15-21%三氧化二铝，9-13%二氧化钛，2-5%氟化钙，2-6%氧化铈，2-5%氮化硅，2-4%硅，余量为镍基。该镍基金属陶瓷合金粉末在连续波光纤激光熔覆的过程中，不仅能够大大提高金属件对激光的吸收率、降低熔点，而且能够在其表面形成一层内部组织结构致密，无裂纹、缩孔、气泡等缺陷熔覆层，大大增加的金属件的使用寿命，降低了生产成本。
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