[实用新型]一种散热性能好的气相沉积炉有效
| 申请号： | 202122633765.7 | 申请日： | 2021-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN216337938U | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 康志卫;陈志军;王伟;曹卫 | 申请（专利权）人： | 湖南诺沃科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 414400 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 散热 性能 沉积 | ||
1.一种散热性能好的气相沉积炉，其特征在于，包括炉体和炉盖，所述炉体内设有沉积腔室，所述炉体的顶部设有与所述沉积腔室连通的开口，所述炉盖盖合在所述开口上；
所述炉体的炉侧壁内设有散热通道，所述炉体的炉侧壁上设有与所述散热通道连通的冷却介质入口管道和冷却介质出口管道；
所述散热通道包括多个环绕于所述炉体的环形流道，多个所述环形流道沿所述炉体的延伸方向呈间隔分布，且相邻环所述形流道之间的间距相等。
2.根据权利要求1所述的散热性能好的气相沉积炉，其特征在于，所述散热通道还包括多个纵向流道，所述纵向流道沿所述炉体的周向间隔分布，且相邻所述纵向流道之间的间距相等。
3.根据权利要求2所述的散热性能好的气相沉积炉，其特征在于，所述纵向流道设置于多个所述环形流道中的其中两个所述环形流道之间，且所述纵向流道的两端分别连接两个所述环形流道。
4.根据权利要求2所述的散热性能好的气相沉积炉，其特征在于，所述纵向流道与各所述环形流道均连通。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的散热性能好的气相沉积炉，其特征在于，所述冷却介质入口管道与多个所述环形流道中的靠近所述炉体底部的其中一个所述环形流道连通；
所述冷却介质出口管道与多个所述环形流道中的靠近所述炉体的开口的其中一个所述环形流道连通。
6.根据权利要求2-4中任一项所述的散热性能好的气相沉积炉，其特征在于，各所述环形流道形成于所述炉侧壁内的各环形管道内；
各所述纵向流道形成于所述炉侧壁内的各纵向管道内。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南诺沃科技有限公司，未经湖南诺沃科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202122633765.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有发光功能的服装
- 下一篇：一种基于农业培植技术的新型无土育苗箱
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
