[实用新型]一种单晶硅生产炉用氧化铝瓷环阻热装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅生产炉用氧化铝瓷环阻热装置，属于单晶硅生产技术领域，包括生产炉本体、绝缘瓷环和电极本体，绝缘瓷环套设在电极本体上，生产炉本体的底部设置有通孔，绝缘瓷环穿设在通孔内，生产炉本体内设置有圆形板，圆形板的外侧壁上固定安装有圆形套环，绝缘瓷环的底部和电极本体的底部固定安装有底板，生产炉本体的底部设置有固定板，固定板的底部固定安装有连接杆，连接杆的一侧固定安装有弹簧，弹簧的一端固定安装有托板，圆形板上设置穿过孔，电极本体的一端穿设在穿过孔内，本实用新型方便对绝缘瓷环进行阻热，可大大提高绝缘瓷环的使用寿命，降低了生产成本，并且方便对绝缘瓷环和电极本体进行拆卸，方便了更换。

技术领域

本实用新型涉及一种单晶硅生产炉用氧化铝瓷环阻热装置，属于单晶硅生产技术领域。

背景技术

单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质，硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅，单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，单晶硅材料制造要经过如下过程：石英砂-冶金级硅-提纯和精炼-沉积多晶硅锭-单晶硅-硅片切割，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等，在单晶硅生产时需要用到生产炉，单晶硅生产炉是生产单晶硅时一种重要的设备。

在单晶硅生产炉使用时需要用到绝缘瓷环，绝缘瓷环作用是对电极体进行绝缘保护，然而现有的绝缘瓷环受到生产炉内高温的影响，从而使其使用寿命降低，进而不能对电极体进行更好的保护，另外由于绝缘瓷环和电极体是套设在一起的，而它们在安装在生产炉上时，一般为固定安装的，从而使其更换较为不便。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述有的绝缘瓷环受到生产炉内高温的影响，从而使其使用寿命降低，进而不能对电极体进行更好的保护和由于绝缘瓷环和电极体是套设在一起的，而它们在安装在生产炉上时，一般为固定安装的，从而使其更换较为不便而提供一种单晶硅生产炉用氧化铝瓷环阻热装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种单晶硅生产炉用氧化铝瓷环阻热装置，包括生产炉本体、绝缘瓷环和电极本体，所述绝缘瓷环套设在所述电极本体上，所述生产炉本体的底部设置有通孔，所述绝缘瓷环穿设在所述通孔内，所述生产炉本体内设置有圆形板，所述圆形板的外侧壁上固定安装有圆形套环，所述绝缘瓷环的底部和所述电极本体的底部固定安装有底板，所述生产炉本体的底部设置有固定板，所述固定板的底部固定安装有连接杆，所述连接杆的一侧固定安装有弹簧，所述弹簧的一端固定安装有托板。

优选的，穿过孔方便了所述电极本体的使用，所述圆形板上设置穿过孔，所述电极本体的一端穿设在所述穿过孔内，所述圆形板为石墨材质。

优选的，为了对所述电极本体进行防护，所述圆形套环底部的直径大于顶部的直径，所述绝缘瓷环的顶部与所述圆形板的底部相贴合，所述圆形套环为石墨材质。

优选的，为了对所述圆形套环进行固定，所述生产炉本体底部的内侧壁上固定安装有安装杆，所述安装杆的一侧固定安装有稳固杆，所述稳固杆的另一端固定安装在所述圆形套环的一侧，所述安装杆和所述稳固杆均为石墨材质。

优选的，为了对所述圆形套环的稳定性进行加强，所述生产炉本体的内侧壁上固定安装有加固杆，所述加固杆的另一端固定安装有所述圆形套环的另一侧，所述加固杆为石墨材质。

优选的，为了方便所述固定板的安装和拆卸，所述固定板上与所述生产炉本体上均设置有螺纹孔，所述螺纹孔内穿设有螺纹杆。

优选的，为了使所述托板和所述底板的连接更稳定，所述托板的顶部与所述底板的底部杆贴合，所述底板的底部与所述托板的顶部均设置有防滑纹。

本实用新型的有益效果是：