[实用新型]一种三维形貌测量的光路结构

权利要求书

1.一种三维形貌测量的光路结构，其特征在于，包括一个半导体激光器(111)、分束镜(13)、第一成像物镜(19)、第二成像物镜(18)、第一位置探测器(10)和第二位置探测器(20)；

所述半导体激光器(111)发射的激光光束经所述分束镜(13)分束后形成第一激光光束和第二激光光束；所述第一激光光束和第二激光光束满足空间正交，且两束激光入射至待测表面(30)上的同一点；

待测表面(30)反射所述第一激光光束和第二激光光束分别至第一成像物镜(19)、第二成像物镜(18)上，经聚焦后分别入射第一位置探测器(10)和第二位置探测器(20)。

2.如权利要求1所述的一种三维形貌测量的光路结构，其特征在于，还包括准直透镜(121)；

所述半导体激光器(111)发出的激光先经过所述准直透镜(121)准直后进入所述分束镜(13)。

3.如权利要求1所述的一种三维形貌测量的光路结构，其特征在于，还包括第一聚焦透镜(14)；

经所述分束镜(13)分束后形成第一激光光束先经过所述第一聚焦透镜(14)准直后，入射至待测表面(30)。

4.如权利要求1所述的一种三维形貌测量的光路结构，其特征在于，还包括第二聚焦透镜(17)；

经所述分束镜(13)分束后形成第二激光光束先经过所述第二聚焦透镜(17)准直后，入射至待测表面(30)。

5.如权利要求4所述的一种三维形貌测量的光路结构，其特征在于，还包括至少一个反射镜；

经所述分束镜(13)分束后形成的第二激光光束反射镜反射后入射至第二聚焦透镜(17)。

6.如权利要求5所述的一种三维形貌测量的光路结构，其特征在于，所述反射镜包括第一反射镜(15)和第二反射镜(16)，第二激光光束先后经第一反射镜(15)和第二反射镜(16)反射后入射至第二聚焦透镜(17)。

7.如权利要求1所述的一种三维形貌测量的光路结构，其特征在于，所述第一激光光束和第二激光光束在待测表面的入射角度相同，且入射角度为60度。