[实用新型]一种Prober点墨器新型打点稳定工装有效
| 申请号： | 202122113046.2 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN215377376U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 李光;路戈成 | 申请（专利权）人： | 马达西奇(苏州)智能装备科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州尚为知识产权代理事务所(普通合伙) 32483 | 代理人： | 陈钢 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 prober 点墨器 新型 打点 稳定 工装 | ||
1.一种Prober点墨器新型打点稳定工装，安装于打点设备上，其特征在于：包括壳体、安装于壳体内部的点墨器稳定机构及导轨、驱动点墨器稳定机构沿导轨运动的驱动件；所述点墨器稳定机构包括嵌合于壳体内的导向座、设置在导向座外侧端面用于固定墨盒的卡座。
2.根据权利要求1所述的一种Prober点墨器新型打点稳定工装，其特征在于：所述壳体由侧壁向内开设有容置腔，所述点墨器稳定机构及导轨设置在容置腔内，所述驱动件选用动作气缸，中轴线沿竖直方向设置，由壳体上方贯穿壳体并延伸至容置腔内，固定端与壳体固定连接，活动端与点墨器稳定机构固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种Prober点墨器新型打点稳定工装，其特征在于：所述导轨包括沿竖直方向滑动配合的固定轨及活动轨，所述固定轨采用螺丝固定在容置腔内背壁上，所述活动轨与导向座固定连接；所述导向座沿平行于容置腔内侧壁方向的截面呈H型结构，上下两端均形成凹腔，所述凹腔两侧的导向座上分别设置有进料孔及安装孔，采用由进料孔进入并贯穿安装孔的螺丝，实现导向座与活动轨的固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种Prober点墨器新型打点稳定工装，其特征在于：所述容置腔下端呈开口状，处于凹腔下方位置处具有一限位梁，所述限位梁端面上具有与动作气缸同轴设置的通腔；所述动作气缸的固定端与壳体螺纹连接，活动端贯穿导向座，并采用由通腔进入的螺栓实现活动端与导向座的固定连接。
5.根据权利要求3所述的一种Prober点墨器新型打点稳定工装，其特征在于：处于下方的所述凹腔内部贯穿设置有定位块，所述定位块贯穿容置腔两侧壁，并架设在壳体上。
6.根据权利要求3所述的一种Prober点墨器新型打点稳定工装，其特征在于：所述壳体外壁上设置有用于实现动作气缸外连的进气口。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
