[实用新型]一种设有防护机构的半导体加工用运输装置有效

专利信息
申请号: 202122096709.4 申请日: 2021-09-01
公开(公告)号: CN215591865U 公开(公告)日: 2022-01-21
发明(设计)人: 罗娴静 申请(专利权)人: 苏州智富微电子科技有限公司
主分类号: B65G47/22 分类号: B65G47/22;B65G21/20;B65G47/88
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 设有 防护 机构 半导体 工用 运输 装置
【权利要求书】:

1.一种设有防护机构的半导体加工用运输装置,其特征在于,所述具有设有防护机构的半导体加工用运输装置包括:

支架(1),所述支架(1)顶端安装有电机(2),且电机(2)顶端安装有转杆(201),所述转杆(201)顶端固定连接有转盘(202),且转盘(202)顶端固定连接有固定块(203),所述固定块(203)表面转动连接有不规则齿轮(204),且不规则齿轮(204)底端固定连接有活动杆(205),所述不规则齿轮(204)顶端安装有齿轮盘(206),且齿轮盘(206)表面啮合连接有链条(207),所述齿轮盘(206)顶端安装有圆盘(208),且圆盘(208)一侧固定连接有限位杆(209);

L型固定杆(3),所述L型固定杆(3)一侧固定连接有空心块(301),且空心块(301)顶端活动套接有转把(302),所述转把(302)表面固定连接有第一齿轮(303),且第一齿轮(303)表面啮合连接有齿轮条(304),所述齿轮条(304)顶端固定连接有L型连接杆(305),且L型连接杆(305)一侧固定连接有伸缩弹簧(306),所述伸缩弹簧(306)一侧固定连接有防护板(307);

通槽(4),所述通槽(4)表面嵌合连接有外壳(5),且外壳(5)一侧安装有档棍(6),所述档棍(6)表面转动连接有输送带(7)。

2.根据权利要求1所述的一种设有防护机构的半导体加工用运输装置,其特征在于:所述转盘(202)与齿轮盘(206)的中轴线之间相重合,且转杆(201)与转盘(202)之间呈垂直状态。

3.根据权利要求1所述的一种设有防护机构的半导体加工用运输装置,其特征在于:所述齿轮盘(206)与不规则齿轮(204)的中轴线相重合,且活动杆(205)贯穿齿轮盘(206)、不规则齿轮(204)与圆盘(208)中心位置相连接。

4.根据权利要求1所述的一种设有防护机构的半导体加工用运输装置,其特征在于:所L型固定杆(3)与L型连接杆(305)之间呈平行状态,且转把(302)贯穿第一齿轮(303)与空心块(301)内壁底端相连接。

5.根据权利要求1所述的一种设有防护机构的半导体加工用运输装置,其特征在于:所述防护板(307)与L型连接杆(305)之间呈平行状态,且伸缩弹簧(306)与防护板(307)呈垂直状态。

6.根据权利要求1所述的一种设有防护机构的半导体加工用运输装置,其特征在于:所述通槽(4)与限位杆(209)表面之间为活动套接,且外壳(5)与L型固定杆(3)底端之间为固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种设有防护机构的半导体加工用运输装置,其特征在于:所述电机(2)与外壳(5)底端之间为转动连接,且外壳(5)与支架(1)顶端之间为固定连接。

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