[实用新型]一种制备生物传感器芯片的装置

权利要求书

1.一种制备生物传感器芯片的装置，其特征在于：包括刻蚀室(1)、LSPR生物传感器芯片组装机构(2)和基片框(3)，所述刻蚀室(1)和LSPR生物传感器芯片组装机构(2)的上方架设有横梁(4)，所述横梁(4)上设置有驱动机构(5)，所述基片框(3)可拆卸的设置在所述驱动机构(5)上，所述驱动机构(5)驱动所述基片框(3)水平和竖直运动。

2.如权利要求1所述的一种制备生物传感器芯片的装置，其特征在于：所述横梁(4)通过支撑组件(41)架设在所述刻蚀室(1)和LSPR生物传感器芯片组装机构(2)的上方。

3.如权利要求2所述的一种制备生物传感器芯片的装置，其特征在于：所述支撑组件(41)包括两个支撑架(411)，两个所述支撑架(411)竖直设置在水平面上，所述横梁(4)水平设置在两个所述支撑架(411)上，且其两端分别固定在两个所述支撑架(411)的顶端。

4.如权利要求1所述的一种制备生物传感器芯片的装置，其特征在于：所述刻蚀室(1)包括沿所述横梁(4)长度延伸方向依次并排设置的刻蚀淋洗槽(11)、超声清洗槽(12)和第一充氮烘箱(13)。

5.如权利要求4所述的一种制备生物传感器芯片的装置，其特征在于：所述刻蚀淋洗槽(11)内竖直设有档板(113)，所述档板(113)将所述刻蚀淋洗槽(11)内部分割为刻蚀腔(111)和淋洗腔(112)，所述档板(113)高度低于所述刻蚀淋洗槽(11)的槽壁。

6.如权利要求1所述的一种制备生物传感器芯片的装置，其特征在于：所述LSPR生物传感器芯片组装机构(2)包括沿所述横梁(4)长度延伸方向依次并排设置的硅烷化反应室(21)、金纳米阵列结构组装室(22)、生物敏感层制备室(23)和第二充氮烘箱(24)。

7.如权利要求1-6任一项所述的一种制备生物传感器芯片的装置，其特征在于：所述驱动机构(5)包括滑动模组(51)和升降模组(52)，所述滑动模组(51)包括第一电机(511)、丝杠(512)、滑块(513)，所述横梁(4)的下表面设有滑槽(6)，所述丝杠(512)的第一端可转动的设置在所述滑槽(6)上的槽壁上，所述滑块(513)可滑动的设置在所述滑槽(6)中，且其与所述丝杠(512)螺纹连接，所述第一电机(511)固定设置在所述横梁(4)的一端，所述第一电机(511)的驱动端与所述丝杠(512)的第二端传动连接，以驱动所述丝杠(512)转动；所述升降模组(52)固定在所述滑块(513)的底部，所述基片框(3)可拆卸的安装在所述升降模组(52)上。

8.如权利要求7所述的一种制备生物传感器芯片的装置，其特征在于：所述升降模组(52)包括第二电机(521)和钢丝盘(522)，所述第二电机(521)固定在所述滑块(513)上，所述钢丝盘(522)的中心轴固定在所述第二电机(521)的输出轴上，所述钢丝盘(522)上绕设有钢丝绳(523)，所述钢丝绳(523)的一端固定连接所述钢丝盘(522)、另一端可拆卸连接有所述基片框(3)。

9.如权利要求8所述的一种制备生物传感器芯片的装置，其特征在于：所述基片框(3)内设置有多个基片卡槽。