[实用新型]一种蓝宝石衬底加工蚀刻机的电极散热结构

权利要求书

1.一种蓝宝石衬底加工蚀刻机的电极散热结构，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的上表面设置有电极板（2），所述电极板（2）的上表面设置有多个放置槽（3），且多个放置槽（3）呈矩形阵列均匀分布在电极板（2）的上表面，所述电极板（2）两侧固定连接有四个上固定板（4），所述底板（1）的两侧固定连接有四个下固定板（5），且上固定板（4）与下固定板（5）通过固定螺栓（6）螺旋连接。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底加工蚀刻机的电极散热结构，其特征在于：所述底板（1）和电极板（2）的前面均设置有固定条（7），所述固定条（7）的上表面设置有螺纹槽（8），所述固定条（7）上设置有挡盖（9），且挡盖（9）与固定条（7）通过螺丝螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石衬底加工蚀刻机的电极散热结构，其特征在于：所述挡盖（9）的前面开设有两个开口，所述开口上设置有两个连接管（10）。

4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底加工蚀刻机的电极散热结构，其特征在于：所述底板（1）的上表面设置有下传温座（11），所述下传温座（11）的上表面开设有管槽，所述管槽的上表面设置有冷却管（12）。

5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石衬底加工蚀刻机的电极散热结构，其特征在于：所述冷却管（12）的上表面设置有上传温座（13），且上传温座（13）可以与下传温座（11）贴合，所述上传温座（13）的上表面与电极板（2）的下表面固定连接。

6.根据权利要求3所述的一种蓝宝石衬底加工蚀刻机的电极散热结构，其特征在于：位于左侧的所述连接管（10）的输出口固定连接有水泵（14），所述水泵（14）的输入端固定连接有冷却液箱（15），所述冷却液箱（15）的上端开设有输入口，所述输入口上固定连接有回收管（16），且回收管（16）的输入端与右侧的连接管（10）的输出口固定连接。