[实用新型]一种Mo源固定和升降装置

说明书

本实用新型涉及一种Mo源固定和升降装置，中间设有固定装置，对外用螺杆将此装置与水浴槽固定，对内用带橡胶卡套的螺杆固定Mo源，装置底板开内螺纹孔，配合带外螺纹的升降柱以改变柱高度，从而改变置于柱上的Mo源高度，四周开多个U型槽提高热交换效率。优点：有效的将Mo源固定住，大大降低了安全隐患。有效控制Mo源高度，相对于手动对水浴槽排、补水，提高了生产效率。

技术领域

本实用新型是一种Mo源固定和升降装置，属于半导体外延生产设备MOCVD技术领域。

背景技术

目前外延设备MOCVD中，Mo源放入恒温水浴槽中，槽中水漫过瓶身以达到控温目的。由于水浴槽中无固定装置，更换源瓶时，金属气路管道需拆卸、装配，此过程中极易导致源瓶倾斜、瓶口进水、管道受力现象，易发生燃爆等重大安全事故。在装源过程中，由于源瓶高度无法调节，为使瓶身在合适的水位，需要手动对水浴槽进行排水、补水，降低了生产效率。

实用新型内容

本实用新型提出的是一种Mo源固定和升降装置，其目的在于针对现有MOCVD领域存在的效率低下等问题，提出一种通过建立带内外螺杆和底部升降柱的装置，对Mo源进行固定和调节高度的装置，从而防止更换源瓶时出现安全事故以及快速调节源瓶高度，提高生产效率。

本实用新型的技术解决方案：

一种Mo源固定和升降装置，包括装置主体、升降柱1、两个外固定螺杆2和两个内固定螺杆4，所述装置主体包括底板和四个侧壁，所述升降柱1可升降安装于底板中，其中两个对称侧壁上分别固定有上、下两个螺母，两个外固定螺杆2旋入两个侧板下部螺母中，两个内固定螺杆4旋入侧板上部螺母中，使用时Mo源置于升降柱1上，旋转外固定螺杆固定整体装置，旋转内固定螺杆固定源瓶。

所述底板、四个侧壁和升降柱材质为ABS。

所述四个侧壁上开有多个U型槽镂空，以提高热交换效率。

所述两个外固定螺杆尾部旋入带内螺纹的橡胶卡套。

所述两个内固定螺杆旋入带内螺纹的“（”形橡胶卡套。

所述升降柱1可升降安装方式为底板开由内螺纹孔，配合带外螺纹的升降柱以改变升降柱高度。

所述底板和四个侧壁之间通过工业防水胶固定。

本实用新型的有益效果：

1）通过建立带内外螺杆和底部升降柱的装置，对Mo源进行固定和调节高度，防止更换源瓶时出现安全事故，大大降低了安全隐患，同时可以快速调节源瓶高度，相对于手动对水浴槽排、补水，显著提高生产效率。

2）装置四周开多个U型槽提高热交换效率；两个外固定螺杆尾部旋入带内螺纹的橡胶卡套，以增加与水浴槽内壁接触面积和防止擦伤内壁；两个内固定螺杆尾部旋入带内螺纹的橡胶卡套，以固定Mo源和防止擦伤源瓶表面。

附图说明

附图1是Mo源固定和升降装置结构示意图。

附图中1是升降柱、2是外固定螺杆、3是橡胶卡套、4是内固定螺杆、5是橡胶卡套。

具体实施方式

本实用新型设计一个中间固定装置，对外用螺杆将此装置与水浴槽固定，对内用带橡胶卡套的螺杆固定Mo源，装置底板开内螺纹孔，配合带外螺纹的升降柱以改变柱高度，从而改变置于柱上的Mo源高度，四周开多个U型槽提高热交换效率。

下面结合附图对本实用新型技术方案做进一步解释说明。