[实用新型]一种Mo源固定和升降装置有效

专利信息
申请号: 202121671204.X 申请日: 2021-07-22
公开(公告)号: CN215440676U 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 林长军;孔龙;徐轩 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第五十五研究所
主分类号: C23C16/448 分类号: C23C16/448
代理公司: 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 代理人: 李国政
地址: 210016 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 mo 固定 升降 装置
【权利要求书】:

1.一种Mo源固定和升降装置,其特征是包括装置主体、升降柱(1)、两个外固定螺杆(2)和两个内固定螺杆(4),所述装置主体包括底板和四个侧壁,所述升降柱(1)可升降安装于底板中,其中两个对称侧壁上分别设有上、下两个通孔,通孔处热熔有螺母,两个外固定螺杆(2)旋入两个侧板下部的螺母中,两个内固定螺杆(4)旋入侧板上部的螺母中,使用时Mo源置于升降柱(1)上,旋转外固定螺杆固定整体装置,旋转内固定螺杆固定源瓶。

2.根据权利要求1所述的一种Mo源固定和升降装置,其特征是所述底板、四个侧壁和升降柱材质为ABS。

3.根据权利要求1或2所述的一种Mo源固定和升降装置,其特征是所述四个侧壁上开有多个U型槽镂空。

4.根据权利要求1所述的一种Mo源固定和升降装置,其特征是所述两个外固定螺杆尾部设有带内螺纹的橡胶卡套。

5.根据权利要求1所述的一种Mo源固定和升降装置,其特征是所述两个内固定螺杆尾部设有带内螺纹的“(”形橡胶卡套。

6.根据权利要求1所述的一种Mo源固定和升降装置,其特征是所述升降柱(1)可升降安装方式为底板开由内螺纹孔,配合带外螺纹的升降柱以改变升降柱高度。

7.根据权利要求1所述的一种Mo源固定和升降装置,其特征是所述底板和四个侧壁之间通过工业防水胶固定。

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