[实用新型]一种Mo源固定和升降装置有效
申请号: | 202121671204.X | 申请日: | 2021-07-22 |
公开(公告)号: | CN215440676U | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 林长军;孔龙;徐轩 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448 |
代理公司: | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人: | 李国政 |
地址: | 210016 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 mo 固定 升降 装置 | ||
1.一种Mo源固定和升降装置,其特征是包括装置主体、升降柱(1)、两个外固定螺杆(2)和两个内固定螺杆(4),所述装置主体包括底板和四个侧壁,所述升降柱(1)可升降安装于底板中,其中两个对称侧壁上分别设有上、下两个通孔,通孔处热熔有螺母,两个外固定螺杆(2)旋入两个侧板下部的螺母中,两个内固定螺杆(4)旋入侧板上部的螺母中,使用时Mo源置于升降柱(1)上,旋转外固定螺杆固定整体装置,旋转内固定螺杆固定源瓶。
2.根据权利要求1所述的一种Mo源固定和升降装置,其特征是所述底板、四个侧壁和升降柱材质为ABS。
3.根据权利要求1或2所述的一种Mo源固定和升降装置,其特征是所述四个侧壁上开有多个U型槽镂空。
4.根据权利要求1所述的一种Mo源固定和升降装置,其特征是所述两个外固定螺杆尾部设有带内螺纹的橡胶卡套。
5.根据权利要求1所述的一种Mo源固定和升降装置,其特征是所述两个内固定螺杆尾部设有带内螺纹的“(”形橡胶卡套。
6.根据权利要求1所述的一种Mo源固定和升降装置,其特征是所述升降柱(1)可升降安装方式为底板开由内螺纹孔,配合带外螺纹的升降柱以改变升降柱高度。
7.根据权利要求1所述的一种Mo源固定和升降装置,其特征是所述底板和四个侧壁之间通过工业防水胶固定。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的