[实用新型]一种半导体检测用探针平台

说明书

本实用新型公开了一种半导体检测用探针平台，包括安装底板、驱动机构和探针安装机构；安装底板：其上表面外侧设有四根均匀分布的滑柱，滑柱的上端滑动连接有升降台；驱动机构：设置于安装底板的上表面左侧，驱动机构的上端与升降台螺纹连接；探针安装机构：均匀分布于升降台的上表面内侧；其中：还包括下滑座，所述下滑座滑动连接于安装底板的上表面中部，下滑座的上表面滑动连接有上滑座，上滑座的上表面中部开设有置物槽，置物槽的内部设有吸盘，所述驱动机构包括丝杆、第一齿轮和第三齿轮，该半导体检测用探针平台，装置能够进行自我调节，避免因探针压力过大而损坏半导体元件。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测装置技术领域，具体为一种半导体检测用探针平台。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、错、砷化擦等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种，半导体元件在研发生产时需要使用探针平台对半导体进行检测，传统的探针平台在检测半导体元件时，在内部升降装置的带动下，探针直接压向半导体元件，探针不能进行自我调节，在操作员操作失误时，容易引起半导体元件的损坏，不便于半导体元件的测量，不方便产品的研发，为此，我们提出一种半导体检测用探针平台。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种半导体检测用探针平台，装置能够进行自我调节，避免因探针压力过大而损坏半导体元件，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体检测用探针平台，包括安装底板、驱动机构和探针安装机构；

安装底板：其上表面外侧设有四根均匀分布的滑柱，滑柱的上端滑动连接有升降台；

驱动机构：设置于安装底板的上表面左侧，驱动机构的上端与升降台螺纹连接；

探针安装机构：均匀分布于升降台的上表面内侧；

其中：还包括下滑座，所述下滑座滑动连接于安装底板的上表面中部，下滑座的上表面滑动连接有上滑座，上滑座的上表面中部开设有置物槽，置物槽的内部设有吸盘，装置能够进行自我调节，避免因探针压力过大而损坏半导体元件，同时，提供了配重部件，能够防止因重力不足而使探针与半导体元件接触不良的现象，防止半导体元件检测过程中出现异常，方便更改探针与半导体元件的接触位置，便于半导体元件的测量，方便产品的研发。

进一步的，所述驱动机构包括丝杆、第一齿轮和第三齿轮，所述丝杆转动连接于安装底板的上表面左侧，丝杆的上端与升降台左端开设的螺纹孔螺纹连接，第一齿轮和第三齿轮均设置于丝杆的下端，第一齿轮位于第三齿轮的上方，能够带动其他部件进行上下移动。

进一步的，所述驱动机构还包括第二齿轮、第四齿轮和安装柱，所述安装柱设置于安装底板的上表面左侧，第二齿轮和第四齿轮均转动连接于安装柱的外弧面上端，第二齿轮与第一齿轮啮合连接，第四齿轮与第三齿轮啮合连接，能够实现装置的快速移动与微调。

进一步的，所述探针安装机构包括固定座、圆座、安装杆和探针，所述固定座均匀分布于升降台的上表面内侧，圆座分别转动连接于固定座的上端，安装杆分别通过转轴转动连接于圆座的上端开口内，探针分别插接于安装杆的内端，能够实现探针压力的自我调节，避免装置半导体元件损坏。

进一步的，所述探针安装机构还包括配重块，所述配重块分别螺纹连接于安装杆的中部，能够调节探针对半导体元件的压力，防止探针与半导体元件接触不良。

进一步的，还包括第一螺杆，所述第一螺杆转动连接于下滑座的中部安装槽内，上滑座下端的凸块与第一螺杆螺纹连接，能够实现半导体元件的前后位置调节。