[实用新型]泵环及薄膜沉积设备

权利要求书

1.一种泵环，其特征在于，用于反应腔室；所述泵环包括环绕所述反应腔室的环本体，沿所述环本体的周向，所述环本体上开设有多个均气孔，所述均气孔沿所述环本体的径向贯穿所述环本体，所述均气孔用于将所述反应腔室与泵口连通，所述泵口位于所述反应腔室外、所述泵环的一侧；对于所述环本体上开设有所述均气孔的不同部位，越靠近所述泵口的部位，所述环本体的壁厚越大。

2.根据权利要求1所述泵环，其特征在于，对于所述环本体的不同部位上的均气孔，越靠近所述泵口，相邻的两个所述均气孔之间的间距越大。

3.根据权利要求1所述泵环，其特征在于，对于所述环本体的不同部位上的均气孔，越靠近所述泵口，所述均气孔的孔径越小。

4.根据权利要求1所述泵环，其特征在于，所述环本体的内环呈圆环状，所述环本体的外环呈椭圆环状，且越靠近所述泵口，所述环本体的壁厚越大。

5.根据权利要求1所述泵环，其特征在于，所述泵环还包括固定环，所述固定环与所述环本体连接，且环绕所述反应腔室设置，所述固定环与限定出所述反应腔室的部件固定连接。

6.根据权利要求5所述泵环，其特征在于，所述环本体与所述固定环一体成型。

7.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括至少一个反应腔室，每一所述反应腔室外对应设有泵口；其中，每一所述反应腔室经对应设置的、如权利要求1-6任一项所述的泵环上的均气孔，与对应的所述泵口连通。

8.根据权利要求7所述薄膜沉积设备，其特征在于，所述薄膜沉积设备还包括抽气泵，所述抽气泵与所述泵口连通。