[实用新型]一种自动化上料硅片推齐装置

说明书

本申请提供一种自动化上料硅片推齐装置，其特征在于，包括固定支撑架、推手模组和推片臂，推手模组中的固定端设置在固定支撑架上，推片臂设置在推手模组中的活动端上，推片臂可在推手模组中的活动端的驱动下进行远离和靠近固定支撑架的直线往复运动，固定支撑架上规则排列设置至少两组推手模组。该装置充分利用机械原理设计，可以完全弥补自动化传输过程中的不足，减少因花篮内硅片不齐导致的不必要的堵片问题，大大节约人力，充分提升机台利用率，同时，自动化推片机构可直接安装到PECVD自动插片机或其他需要推片的装置内使用，便捷、安全可靠，杜绝因传输问题导致的硅片不齐的现象，工作效率高，应用前景广阔。

技术领域

本发明属于PECVD镀膜及自动插片机装取片技术领域，尤其涉及一种自动化上料硅片推齐装置。

背景技术

随着工业社会的不断发展，人类对能源的需求量与日俱增，能源短缺已经成为阻碍经济发展与世界和平的关键因素。近些年来，国际原油储量的下降和价格的不断上升，进一步引起了人们对能源问题的重视，深知寻找可替代资源迫在眉睫。其中太阳能因其清洁、储量大，分布广泛等优点备受关注，以太阳能电池为核心的光伏产业直接将太阳能转化成电能，是目前公认的“绿色能源”。

太阳能电池中属晶硅太阳能电池发展最为迅猛，晶体硅类太阳能电池的制备一般经过制绒、扩散、镀膜、丝网印刷、烧结等工序。其中镀膜工艺是为了减少少数载流子在电池表面的复合，提高晶体硅太阳能电池片的转换效率，而在对硅片表面镀膜时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD 真空镀膜设备的载片器上。目前，由于石墨舟优良的导热及导电性能，载片器通常采用石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD 真空镀膜设备中，采用PECVD 工艺对硅片进行镀膜。

在PECVD自动插片机装取片时，花篮在运转过程中会出现硅片脱离花篮底部向外突出的状况，从而导致硅片在自动传输过程中出现位置偏差，导致不必要的堵片问题，机台报警，停工检查，人工将硅片推进花篮中归位，严重影响进度。

发明内容

鉴于以上，本发明提供一种自动化上料硅片推齐装置，该装置充分利用机械原理设计，可以完全弥补自动化传输过程中的不足，减少因花篮内硅片不齐导致的不必要的堵片问题，大大节约人力，充分提升机台利用率，同时，自动化推片机构可直接安装到PECVD自动插片机或其他需要推片的装置内使用，便捷、安全可靠，杜绝因传输问题导致的硅片不齐的现象，工作效率高，应用前景广阔。具体技术方案如下：

一种自动化上料硅片推齐装置，其特征在于，包括固定支撑架、推手模组和推片臂，推手模组中的固定端设置在固定支撑架上，推片臂设置在推手模组中的活动端上，推片臂可在推手模组中的活动端的驱动下进行远离和靠近固定支撑架的直线往复运动。

进一步，固定支撑架上规则排列设置至少两组推手模组。

进一步，所述推片臂上远离推手模组的一侧设置有橡胶垫板。

进一步，所述推手模组为气缸组件。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1所示为自动化上料硅片推齐装置的侧面角度结构示意图；

图2所示为自动化上料硅片推齐装置的后面角度结构示意图；

其中，1-固定支撑架，2-推手模组，3-推片臂，4-橡胶垫板。

具体实施方式