[实用新型]一种真空蒸镀机的排气扇结构有效
| 申请号: | 202121473786.0 | 申请日: | 2021-06-30 |
| 公开(公告)号: | CN216947161U | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
| 发明(设计)人: | 薛蒙晓 | 申请(专利权)人: | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司: | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人: | 赵成磊 |
| 地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 真空 蒸镀机 排气扇 结构 | ||
1.一种真空蒸镀机的排气扇结构,所述排气扇结构设置在真空蒸镀机的腔室与排气室之间,所述排气扇结构位于真空蒸镀机的腔室的后防着板的中下部,其特征在于,所述排气扇结构包括边框(1)和设置在边框(1)内部的排气扇部(2),所述排气扇部(2)包含多个呈竖百叶型排列的排气片(21),所述排气片(21)为薄片,所述排气片(21)相对于从前向后方向的垂直面具有倾斜角a,所述多个排气片(21)的倾斜角a的度数相同或者不相同,相邻的两个排气片(21)之间,前一个排气片(21)的右侧边与后一个排气片(21)的左侧边在从左向右方向的垂直面上具有重合线或重合面。
2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述排气扇结构与真空蒸镀机的腔室的形状相对应,所述排气扇结构为正方形、长方形或圆弧形中的一种。
3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,真空蒸镀机的腔室为正方形或者长方形,所述排气扇结构为正方形或者长方形,真空蒸镀机的腔室为中空圆柱形,所述排气扇结构为圆弧形。
4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述多个排气片(21)的宽度相同或者不相同,所述多个排气片(21)的倾斜角a的度数相同。
5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述多个排气片(21)的宽度相同。
6.如权利要求1所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所有排气片(21)之间均相互平行或者不都相互平行。
7.如权利要求6所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述排气扇结构为正方形或者长方形,所有排气片(21)之间均相互平行,所述排气扇结构为圆弧形,左边的一半排气片(21)之间相互平行,右边的一半排气片(21)之间相互平行,中间的两个排气片(21)之中左边的排气片向左倾斜右边的排气片向右倾斜、并且左边的排气片的右侧边与右边的排气片的左侧边重合。
8.如权利要求1所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述边框(1)的上部具有葫芦状通孔(11)和设置在葫芦状通孔(11)上的凸出板(12),葫芦状通孔(11)和凸出板(12)各有两个,凸出板(12)对着真空蒸镀机的腔室,防着板上具有两个相对应的挂钩,将葫芦状通孔(11)放置在挂钩2上,由于所述排气扇结构的重力作用与所述排气扇结构与挂钩连接固定,凸出板(12)起到防止挂钩被镀膜的作用。
9.如权利要求8所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述葫芦状通孔(11)包括上半圆部、下半圆部、和中间的梯形部,上半圆部的直径大于下半圆部的直径,上半圆部的直径大于等于挂钩的直径。
10.如权利要求9所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述葫芦状通孔(11)的上半圆部的直径为5-8mm,下半圆部的直径为8-13mm,梯形部的高度为12-18mm;所述凸出板(12)为长方形,凸出板(12)的长度大于葫芦状通孔(11)的长度,凸出板(12)的宽度大于葫芦状通孔(11)的宽度。
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