[实用新型]一种真空蒸镀机的排气扇结构有效

专利信息
申请号: 202121473786.0 申请日: 2021-06-30
公开(公告)号: CN216947161U 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 薛蒙晓 申请(专利权)人: 苏州佑伦真空设备科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/56
代理公司: 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 代理人: 赵成磊
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 蒸镀机 排气扇 结构
【权利要求书】:

1.一种真空蒸镀机的排气扇结构,所述排气扇结构设置在真空蒸镀机的腔室与排气室之间,所述排气扇结构位于真空蒸镀机的腔室的后防着板的中下部,其特征在于,所述排气扇结构包括边框(1)和设置在边框(1)内部的排气扇部(2),所述排气扇部(2)包含多个呈竖百叶型排列的排气片(21),所述排气片(21)为薄片,所述排气片(21)相对于从前向后方向的垂直面具有倾斜角a,所述多个排气片(21)的倾斜角a的度数相同或者不相同,相邻的两个排气片(21)之间,前一个排气片(21)的右侧边与后一个排气片(21)的左侧边在从左向右方向的垂直面上具有重合线或重合面。

2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述排气扇结构与真空蒸镀机的腔室的形状相对应,所述排气扇结构为正方形、长方形或圆弧形中的一种。

3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,真空蒸镀机的腔室为正方形或者长方形,所述排气扇结构为正方形或者长方形,真空蒸镀机的腔室为中空圆柱形,所述排气扇结构为圆弧形。

4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述多个排气片(21)的宽度相同或者不相同,所述多个排气片(21)的倾斜角a的度数相同。

5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述多个排气片(21)的宽度相同。

6.如权利要求1所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所有排气片(21)之间均相互平行或者不都相互平行。

7.如权利要求6所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述排气扇结构为正方形或者长方形,所有排气片(21)之间均相互平行,所述排气扇结构为圆弧形,左边的一半排气片(21)之间相互平行,右边的一半排气片(21)之间相互平行,中间的两个排气片(21)之中左边的排气片向左倾斜右边的排气片向右倾斜、并且左边的排气片的右侧边与右边的排气片的左侧边重合。

8.如权利要求1所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述边框(1)的上部具有葫芦状通孔(11)和设置在葫芦状通孔(11)上的凸出板(12),葫芦状通孔(11)和凸出板(12)各有两个,凸出板(12)对着真空蒸镀机的腔室,防着板上具有两个相对应的挂钩,将葫芦状通孔(11)放置在挂钩2上,由于所述排气扇结构的重力作用与所述排气扇结构与挂钩连接固定,凸出板(12)起到防止挂钩被镀膜的作用。

9.如权利要求8所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述葫芦状通孔(11)包括上半圆部、下半圆部、和中间的梯形部,上半圆部的直径大于下半圆部的直径,上半圆部的直径大于等于挂钩的直径。

10.如权利要求9所述的真空蒸镀机的排气扇结构,其特征在于,所述葫芦状通孔(11)的上半圆部的直径为5-8mm,下半圆部的直径为8-13mm,梯形部的高度为12-18mm;所述凸出板(12)为长方形,凸出板(12)的长度大于葫芦状通孔(11)的长度,凸出板(12)的宽度大于葫芦状通孔(11)的宽度。

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