[实用新型]一种用于半自动晶圆贴膜设备的晶圆揭膜去边装置

权利要求书

1.一种用于半自动晶圆贴膜设备的晶圆揭膜去边装置，包括底座(10)和纵向柱(2)，其特征在于：所述底座(10)的一侧分别固定连接有中心柱(9)和连接杆(14)，所述连接杆(14)的一端侧面固定连接有限位筒(3)，所述限位筒(3)与纵向柱(2)滑动连接，所述连接杆(14)的一端上表面固定连接有限位板(15)，所述限位板(15)的侧面固定连接有支撑轴(23)，所述支撑轴(23)的外表面转动连接有连接筒(24)，所述纵向柱(2)的一端固定连接有柱形手柄(1)，所述纵向柱(2)的另一端固定连接有连接柱(26)，所述连接柱(26)的一端固定连接有第二连接盘(20)，所述纵向柱(2)的外表面固定连接有支撑筒(4)，所述支撑筒(4)的外表面固定连接有支撑盘(5)，所述支撑盘(5)的一侧开设有连接槽(22)，所述连接槽(22)的内顶壁固定连接有第二弹簧(21)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半自动晶圆贴膜设备的晶圆揭膜去边装置，其特征在于：所述中心柱(9)的一端固定连接有放置柱箱(7)，所述放置柱箱(7)的外表面固定连接有支撑块(11)，所述支撑块(11)的外表面固定连接有支撑环(8)。

3.根据权利要求1所述的一种用于半自动晶圆贴膜设备的晶圆揭膜去边装置，其特征在于：所述柱形手柄(1)的一侧开设有固定方槽(25)，所述连接筒(24)的外表面固定连接有限位杆(16)，所述限位杆(16)与固定方槽(25)卡接。

4.根据权利要求1所述的一种用于半自动晶圆贴膜设备的晶圆揭膜去边装置，其特征在于：所述第二连接盘(20)的一侧固定连接有第一弹簧(19)，所述第一弹簧(19)的一端固定连接有第一连接盘(18)，所述第一连接盘(18)的一侧固定连接有防移半球(17)。

5.根据权利要求1所述的一种用于半自动晶圆贴膜设备的晶圆揭膜去边装置，其特征在于：所述支撑筒(4)的一端固定连接有环形切刀(6)，所述第二弹簧(21)的一端固定连接有支撑柱(13)，所述支撑柱(13)与连接槽(22)滑动连接，所述支撑柱(13)的一端固定连接有压膜环(12)。

6.根据权利要求4所述的一种用于半自动晶圆贴膜设备的晶圆揭膜去边装置，其特征在于：所述第一弹簧(19)和第二弹簧(21)均为拉伸弹簧，所述防移半球(17)和压膜环(12)所用材料均为橡胶，所述第二弹簧(21)的半径值小于连接槽(22)的半径值，所述防移半球(17)的数量为若干个。