[实用新型]一种半导体切片机水冷系统

权利要求书

1.一种半导体切片机水冷系统，包括冷水机，冷水机入口侧连接厂务进水管和厂务回水管，冷水机出口侧连接冷水机出水总管和冷水机回水总管；其特征在于，在冷水机出水总管和冷水机回水总管之间，设有五路并联的支路管线；作为温控对象的切割液总管、左主轴轴心、右主轴轴心、主轴轴心固定基座和进刀单元基座、进刀单元活动部分，均设有换热结构；每个换热结构分别与其中的一个支路管线相连，每个支路管线上均设有用于调节支路水温的温控装置。

2.根据权利要求1所述的半导体切片机水冷系统，其特征在于，所述温控装置包括三通比例阀、常闭电磁阀、常开电磁阀和电加热器；所述支路管线经三通比例阀后分为两路，一路直接与冷水机回水总管相接，另一路接至电加热器；电加热器之后的管线连接温控对象的换热结构入口端，换热结构出口端的管线分为两路，一路经过常闭电磁阀后接入电加热器之前的管路，另一路经过常开电磁阀后与三通比例阀接至冷水机回水总管的分路汇合。

3.根据权利要求2所述的半导体切片机水冷系统，其特征在于，所述温控装置中还设有用于增压的管道泵，其入口端接至三通比例阀出口与常闭电磁阀出口的汇合处，管道泵的出口端与电加热器入口端相接。

4.根据权利要求1至3任意一项中所述的半导体切片机水冷系统，其特征在于，所述切割液总管的换热结构是切割液换热器；所述左主轴轴心、右主轴轴心、主轴轴心固定基座和进刀单元基座、进刀单元活动部分，其换热结构是与各自形状相匹配的夹套结构；各支路管线中的冷却水通过换热器或夹套结构与其温控对象进行换热，以实现温度控制。

5.根据权利要求1至3任意一项中所述的半导体切片机水冷系统，其特征在于，所述切割液总管的入口端通过管路依次连接切割液泵和切割液小车，切割液总管的出口端分为四个并联的分支喷管，分别是左主轴喷管、左线网喷管、右线网喷管、右主轴喷管；切割液小车上部设置漏斗状的回收部件，用于回收各分支喷管喷出的切割液。