[实用新型]真空线性移动装置

说明书

本实用新型提供了一种真空线性移动装置，包括：第一环状腔体，被配置为与真空系统的外壁刚性连接；驱动轴，被布置在第一环状腔体中，且其第一端由第一环状腔体伸出后进入真空系统；波纹管，被配置为两端分别连接所述第一环状腔体和所述驱动轴，其长度能够变化；第二环状腔体，被配置为包裹在第一环状腔体外壁，并能够相对于第一环状腔体产生轴向位移；第二环状腔体和驱动轴部分刚性连接，当第二环状腔体相对于第一环状腔体产生轴向位移时，带动驱动轴相对于第一环状腔体产生轴向位移。

技术领域

本实用新型涉及精密仪器技术领域，特别涉及一种真空线性移动装置。

背景技术

超高真空系统中，经常需要对真空系统中的一些组件进行位移操作。例如一些情况下，需要高精度，大负载的前后移动，例如样品位置精密微调，阀门/挡板位置精密微调等，在操作中还需要确保真空系统的精确密封，操作难度大，即使保证了真空系统的密封，也会使得操作设备结构复杂且造价高，提高了工程的成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空线性移动装置，以解决现有的真空线性移动难以降低设备成本的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种真空线性移动装置，包括：

第一环状腔体，被配置为与真空系统的外壁刚性连接；

驱动轴，被布置在第一环状腔体中，且其第一端在从第一环状腔体伸出后进入真空系统；

波纹管，被配置为以两端分别连接所述第一环状腔体和所述驱动轴，且其长度能够变化；以及

第二环状腔体，被配置为包裹第一环状腔体的外壁，并能够相对于第一环状腔体产生轴向位移，其中第二环状腔体与驱动轴部分刚性连接，使得第二环状腔体在相对于第一环状腔体产生轴向位移时，带动驱动轴相对于第一环状腔体产生轴向位移。

可选的，在所述的真空线性移动装置中，所述第一环状腔体包括外螺纹驱动组件，所述第二环状腔体包括内螺纹驱动组件，其中：

所述外螺纹驱动组件的外侧壁的螺纹与内螺纹驱动组件的内侧壁的螺纹相配合，所述内螺纹驱动组件相对于外螺纹驱动组件螺旋转动，以使第二环状腔体相对于第一环状腔体产生轴向位移。

可选的，在所述的真空线性移动装置中，还包括深沟球轴承，其中：

所述深沟球轴承的内圈固定于所述驱动轴上；

所述深沟球轴承的外圈固定于第二环状腔体上；

所述内螺纹驱动组件相对于外螺纹驱动组件螺旋转动时，深沟球轴承的外圈随着内螺纹驱动组件转动，深沟球轴承的内圈静止。

可选的，在所述的真空线性移动装置中，所述外螺纹驱动组件的外侧壁上具有主尺刻度，所述内螺纹驱动组件的内侧壁上具有游标尺刻度；

通过主尺刻度和游标尺刻度的和计算第二环状腔体相对于第一环状腔体的轴向位移。

可选的，在所述的真空线性移动装置中，所述第一环状腔体还包括安装法兰、润滑环和限位环，其中：

所述安装法兰一端面与真空系统的外壁刚性连接，另一端面与外螺纹驱动组件刚性连接；

所述润滑环与所述驱动轴间隙配合；

所述限位环的一端面将润滑环限位于安装法兰上，另一端面将驱动轴限位于最小深出阈值所对应的位置。

可选的，在所述的真空线性移动装置中，所述安装法兰的外边缘延伸至所述外螺纹驱动组件的端面之外，以将内螺纹驱动组件限位于安装法兰的外边缘；

所述波纹管的材料为304不锈钢，所述安装法兰为CF刀口法兰，具有检漏槽。