[实用新型]真空线性移动装置

权利要求书

1.一种真空线性移动装置，其特征在于，包括：

第一环状腔体，被配置为与真空系统的外壁刚性连接；

驱动轴，被布置在第一环状腔体中，且其第一端在从第一环状腔体伸出后进入真空系统；

波纹管，被配置为以两端分别连接所述第一环状腔体和所述驱动轴，且其长度能够变化；以及

第二环状腔体，被配置为包裹第一环状腔体的外壁，并能够相对于第一环状腔体产生轴向位移，其中第二环状腔体与驱动轴部分刚性连接，使得第二环状腔体在相对于第一环状腔体产生轴向位移时，带动驱动轴相对于第一环状腔体产生轴向位移。

2.如权利要求1所述的真空线性移动装置，其特征在于，所述第一环状腔体包括外螺纹驱动组件，所述第二环状腔体包括内螺纹驱动组件，其中：

所述外螺纹驱动组件的外侧壁的螺纹与内螺纹驱动组件的内侧壁的螺纹相配合，所述内螺纹驱动组件相对于外螺纹驱动组件螺旋转动，以使第二环状腔体相对于第一环状腔体产生轴向位移。

3.如权利要求2所述的真空线性移动装置，其特征在于，还包括深沟球轴承，其中：

所述深沟球轴承的内圈固定于所述驱动轴上；

所述深沟球轴承的外圈固定于第二环状腔体上；

所述内螺纹驱动组件相对于外螺纹驱动组件螺旋转动时，深沟球轴承的外圈随着内螺纹驱动组件转动，深沟球轴承的内圈静止。

4.如权利要求2所述的真空线性移动装置，其特征在于，所述外螺纹驱动组件的外侧壁上具有主尺刻度，所述内螺纹驱动组件的内侧壁上具有游标尺刻度；

通过主尺刻度和游标尺刻度的和计算第二环状腔体相对于第一环状腔体的轴向位移。

5.如权利要求3所述的真空线性移动装置，其特征在于，所述第一环状腔体还包括安装法兰、润滑环和限位环，其中：

所述安装法兰一端面与真空系统的外壁刚性连接，另一端面与外螺纹驱动组件刚性连接；

所述润滑环与所述驱动轴间隙配合；

所述限位环的一端面将润滑环限位于安装法兰上，另一端面将驱动轴限位于最小深出阈值所对应的位置。

6.如权利要求5所述的真空线性移动装置，其特征在于，所述安装法兰的外边缘延伸至所述外螺纹驱动组件的端面之外，以将内螺纹驱动组件限位于安装法兰的外边缘；

所述波纹管的材料为304不锈钢，所述安装法兰为CF刀口法兰，具有检漏槽。

7.如权利要求5所述的真空线性移动装置，其特征在于，所述驱动轴进入真空系统的一端具有螺纹孔和限位突起，其中：

所述螺纹孔用于固定真空系统中需要移动的物体；

所述限位突起用于配合润滑环，将驱动轴限位于最小深出阈值所对应的位置。

8.如权利要求5所述的真空线性移动装置，其特征在于，所述驱动轴容置在第一环状腔体的一端包括沿径向延伸且相背设置的第一卡槽和第二卡槽、以及沿径向凹陷的第三卡槽，所述第一卡槽用于与波纹管刚性连接并将波纹管限位于第一卡槽与安装法兰之间；

所述第三卡槽中具有卡簧，深沟球轴承的内圈限位于所述第二卡槽和卡簧之间。

9.如权利要求3所述的真空线性移动装置，其特征在于，所述第二环状腔体包括轴承座，所述轴承座用于安装深沟球轴承的外圈，所述轴承座与所述内螺纹驱动组件刚性连接。

10.如权利要求1所述的真空线性移动装置，其特征在于，所述波纹管的内壁和安装法兰的内壁与驱动轴之间为真空环境，所述波纹管的外壁、安装法兰的外壁、外螺纹驱动组件和内螺纹驱动组件与驱动轴之间为大气环境。