[实用新型]一种半导体透镜耦合设备

权利要求书

1.一种半导体透镜耦合设备，包括机架以及设置在机架上的操作台，所述操作台上设置有用于承载SIOB工件和LD LENS的治具，其特征在于：所述操作台上设置有用于承载所述治具的上下料模组，所述操作台上还分别设置有与所述上下料模组上的治具对应的探针压合模组、光纤对准模组、视觉检测模组、耦合模组；所述耦合模组包括位移机构五，以及驱动设置在位移机构五上的点胶机构以及能相对开合夹持的夹爪。

2.根据权利要求1所述的一种半导体透镜耦合设备，其特征在于：所述上下料模组包括设置在操作台上的位移机构一，所述位移机构一上驱动设置有治具台，所述治具台上设置有用于承载SIOB工件的治具。

3.根据权利要求2所述的一种半导体透镜耦合设备，其特征在于：所述位移机构一包括设置在操作台上的Y轴位移机构一，所述Y轴位移机构一上驱动设置有旋转调节模组，所述旋转调节模组上驱动设置有治具台；所述治具台上设置有治具；所述治具上设置有若干个用于收纳SIOB工件的SIOB工件槽，所述治具的一侧设置有真空吸管，所述真空吸管与SIOB工件槽中设置的吸孔连通。

4.根据权利要求3所述的一种半导体透镜耦合设备，其特征在于：所述探针压合模组包括设置在操作台上的位移机构二，所述位移机构二上驱动设置有能相对所述治具台位移动作的压合机构和探针机构，所述探针机构中的探针一端连接有供电电源，所述探针的另一端与所述治具上的SIOB工件对应。

5.根据权利要求4所述的一种半导体透镜耦合设备，其特征在于：所述位移机构二包括设置在操作台上的Y轴位移机构二，所述Y轴位移机构二上驱动设置有Z轴位移机构二，所述Z轴位移机构二上驱动设置有悬臂一，所述悬臂一的上部设置有微调模组，所述微调模组上驱动设置有压合机构，压合机构包括延伸向治具台的一个压头，所述压头与治具对应；所述悬臂一的一端设置在所述微调模组和所述Z轴位移机构二之间，所述悬臂一延伸至外部的一端设置有与治具上的SIOB工件对应加电的所述探针机构。

6.根据权利要求5所述的一种半导体透镜耦合设备，其特征在于：所述光纤对准模组包括设置在操作台上的位移机构三，所述位移机构三上驱动设置有能相对所述治具上的SIOB工件进行姿态调节的悬臂二，所述悬臂二上设置有光纤孔，所述光纤孔内穿设有用于接收检测的光纤。

7.根据权利要求6所述的一种半导体透镜耦合设备，其特征在于：所述位移机构三包括设置在操作台上的X-Y轴位移机构一，所述X-Y轴位移机构一上驱动设置有安装架一，所述安装架一靠近所述治具台的一侧设置有Z轴位移机构三，所述Z轴位移机构三上驱动设置有旋转轴位移机构，所述旋转轴位移机构上驱动设置有俯仰轴位移机构一，所述俯仰轴位移机构一上驱动设置有悬臂二，所述悬臂二的外端与治具台上的治具对应，且所述悬臂二上设置有与治具中SIOB工件对应的光纤。

8.根据权利要求7所述的一种半导体透镜耦合设备，其特征在于：所述视觉检测模组包括设置在操作台上的安装架二，所述安装架二上设置有位移机构四，所述位移机构四上驱动设置有与所述治具上的SIOB工件对应的相机。

9.根据权利要求8所述的一种半导体透镜耦合设备，其特征在于：所述位移机构四包括设置在操作台上的安装架二，所述安装架二上设置有Y轴位移机构四，所述Y轴位移机构四上驱动设置有Z轴位移机构四，所述Z轴位移机构四上驱动设置有能相对所述治具台上下动作的X轴位移机构四，所述X轴位移机构四上驱动设置有与治具台上的治具对应的相机。

10.根据权利要求9所述的一种半导体透镜耦合设备，其特征在于：所述位移机构五包括设置在操作台上的X-Y轴位移机构二，所述X-Y轴位移机构二上驱动设置有安装架三，所述安装架三靠近所述治具台的一侧上设置有俯仰轴位移机构二，所述俯仰轴位移机构二上驱动设置有Z轴位移机构五，所述Z轴位移机构五上驱动设置有能相对所述治具上的SIOB工件动作位移的悬臂三，所述悬臂三上驱动设置有一对能相对开合的夹爪，所述悬臂三的一侧上设置有能相对所述夹爪往复位移的点胶机构。