[实用新型]一种芯片生产过程中转运装置有效

专利信息
申请号: 202120643870.6 申请日: 2021-03-30
公开(公告)号: CN214279934U 公开(公告)日: 2021-09-24
发明(设计)人: 李旭;张明进 申请(专利权)人: 深圳市未来智能技术服务有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 代理人: 罗炳锋
地址: 518000 广东省深圳市南山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 生产过程 转运 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片生产过程中转运装置,包括存储盒(1),其特征在于:所述存储盒(1)的顶端固定安装有限位滑板(2),所述限位滑板(2)的一侧开设有滑槽(4),在滑槽(4)的内部滑动连接有滑块一(5),所述滑块一(5)远离限位滑板(2)的一侧滑动连接有吸盘(6),所述存储盒(1)的内部转动连接有多组转动轮(11),两个所述转动轮(11)之间活动连接有安装板(12),且安装板(12)与限位滑板(2)垂直设置,在两个安装板(12)相互靠近的一侧固定连接有多组支撑块(15),在两个支撑块(15)之间活动连接有放置板(16),在存储盒(1)的一侧固定连接有加工台(7)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片生产过程中转运装置,其特征在于,所述支撑块(15)的内部开设有滑腔(17),在滑腔(17)的内部滑动连接有滑块二(18),且滑块二(18)与放置板(16)焊接,在滑块二(18)远离放置板(16)的一侧设有与支撑块(15)滑动连接的固定杆(20),且固定杆(20)远离滑块二(18)的一端延伸至支撑块(15)的外部,在固定杆(20)与滑腔(17)的内壁之间固定连接有弹簧二(19)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片生产过程中转运装置,其特征在于,所述加工台(7)靠近限位滑板(2)的一侧设有多组固定块(8),在固定块(8)靠近加工台(7)的一侧固定连接有T形块(9),且T形块(9)延伸至加工台(7)的内部,在T形块(9)与加工台(7)的内壁之间固定连接有弹簧一(10)。

4.根据权利要求2所述的一种芯片生产过程中转运装置,其特征在于,所述存储盒(1)远离限位滑板(2)的一侧固定连接有减震底板(13),在减震底板(13)远离存储盒(1)的一侧固定安装有万向轮(14)。

5.根据权利要求1所述的一种芯片生产过程中转运装置,其特征在于,所述限位滑板(2)远离加工台(7)的一侧固定连接有加强筋(3),所述加强筋(3)远离限位滑板(2)的一端与存储盒(1)固定连接。

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