[实用新型]激光器芯片的检测装置有效
| 申请号: | 202120577779.9 | 申请日: | 2021-03-22 |
| 公开(公告)号: | CN214953120U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
| 发明(设计)人: | 徐敏敏;苏文毅;闫大鹏 | 申请(专利权)人: | 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 沈军 |
| 地址: | 430000 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 激光器 芯片 检测 装置 | ||
1.一种激光器芯片的检测装置,其特征在于,包括:
送料机构,所述送料机构上设置有物料盒,所述送料机构能够带动所述物料盒移动,所述物料盒内放置有多个激光器器件;
取料机构和检测机构,所述取料机构能够沿水平方向和竖直方向移动,以夹取所述激光器器件,并将所述激光器器件的每路芯片逐一与所述检测机构对正,所述检测机构能够自动对焦,以对所述激光器器件的每路所述芯片进行检测。
2.根据权利要求1所述的激光器芯片的检测装置,其特征在于,所述送料机构包括X轴模组,所述X轴模组上设置有所述物料盒,所述X轴模组能够带动所述物料盒在X轴方向移动。
3.根据权利要求1或2所述的激光器芯片的检测装置,其特征在于,所述物料盒内设置有治具,所述治具内放置有多个所述激光器器件。
4.根据权利要求3所述的激光器芯片的检测装置,其特征在于,所述治具上设置有所述激光器器件的芯片背光面朝向的标识。
5.根据权利要求1所述的激光器芯片的检测装置,其特征在于,所述取料机构包括:
Y轴模组和Z轴模组,所述Z轴模组与所述Y轴模组垂直设置,所述Z轴模组可沿所述Y轴模组移动;
夹爪,设置在所述Z轴模组,并能够在所述Z轴模组的带动下沿竖直方向上下移动。
6.根据权利要求5所述的激光器芯片的检测装置,其特征在于,所述夹爪包括一对相对设置的夹片,每个所述夹片包括依次连接的第一本体、第二本体和第三本体,所述第二本体分别与所述第一本体和所述第三本体垂直设置,其中,两个所述第三本体之间的距离大于两个所述第一本体之间的距离,每个所述第三本体的下部垂直设置有第一凸台,两个所述第一凸台位于两个所述第三本体之间。
7.根据权利要求5所述的激光器芯片的检测装置,其特征在于,所述夹爪包括一对相对设置的夹片,每个所述夹片包括相互垂直设置的第四本体和第五本体,每个所述第五本体的下部垂直设置有第二凸台,两个所述第二凸台位于两个所述第五本体之间。
8.根据权利要求1或5所述的激光器芯片的检测装置,其特征在于,所述检测机构包括:
滑台和显微镜,所述显微镜设置在所述滑台上;
电荷耦合器件相机,安装在所述显微镜;
其中,所述激光器器件在所述取料机构的带动下,能够与所述显微镜对正。
9.根据权利要求1所述的激光器芯片的检测装置,其特征在于,还包括平台,所述送料机构、所述取料机构以及所述检测机构均设置在所述平台上。
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