[实用新型]一种晶圆去胶机

权利要求书

1.一种晶圆去胶机，包括底部移动装置、主体(6)和工作机构，其特征在于：所述底部移动装置上方与主体(6)连接，所述主体(6)上方连接有工作机构，所述工作机构包括工作台(11)、U型放置件(12)和第一支撑框(17)，其中：所述工作台(11)上方连接有第一支撑框(17)，所述第一支撑框(17)内部位于工作台(11)上方连接有U型放置件(12)，所述U型放置件(12)的底部设有加热件(16)，所述U型放置件(12)的U型槽底部两边连接有支撑杆(15)，所述支撑杆(15)上方连接有导热块(13)，所述U型放置件(12)的U型槽底部设有第一通孔，所述第一通孔上连接有软垫(14)，所述第一支撑框(17)内顶壁连接有第一伸缩杆(19)和第二伸缩杆(20)，所述第一伸缩杆(19)下方连接有第二支撑框(18)，所述第二支撑框(18)内顶壁连接有第三气缸(23)和第四气缸(24)，所述第三气缸(23)下方连接有第一电机(25)，所述第一电机(25)下方连接有清洁刷(26)，所述第四气缸(24)下方连接有第二电机(27)，所述第二电机(27)下方连接有棉刷(28)，所述第二伸缩杆(20)下方连接有储存箱(21)，所述储存箱(21)下方连接有第三支撑框(22)，所述第三支撑框(22)的内顶部连接有加热管(29)和蒸汽片(30)，所述主体(6)上端远离储存箱(21)一侧连接有支撑板(8)，所述支撑板(8)上方连接有第二气缸(9)，所述第二气缸(9)端部连接有缓冲件(10)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机，其特征在于：所述底部移动装置包括底板(1)、万向轮(2)、弹簧杆(3)和底座(5)，其中：所述底板(1)下方连接有万向轮(2)，所述底板(1)上方连接有弹簧杆(3)，所述弹簧杆(3)上方连接有底座(5)，所述底座(5)的四个侧面均设有第二通孔，所述第二通孔内固定套接有第一气缸(7)，所述第一气缸(7)的伸出杆指向底座(5)中部，所述第一气缸(7)的伸出杆端部连接有夹板(4)，所述主体(6)由夹板(4)进行夹紧。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机，其特征在于：所述第二伸缩杆(20)位于第一伸缩杆(19)远离支撑板(8)一侧。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机，其特征在于：所述第四气缸(24)位于第三气缸(23)靠近储存箱(21)一侧。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆去胶机，其特征在于：所述工作台(11)上设有与第二通孔相配合的第三通孔。