[实用新型]一种晶片边缘加工完整度检测装置

权利要求书

1.一种晶片边缘加工完整度检测装置，包括底板，底座通过支腿放置在工作台上，其特征在于：所述底座下方设置有固定在工作台上的电机，所述电机的输出轴通过联轴器连接转轴，所述转轴穿过底座连接旋转板，所述旋转板上固定连接有晶片放置筒，所述晶片放置筒一侧设置有缺口；所述底座一侧固定有立柱，所述立柱靠近晶片放置筒的一侧设置有用于晶片边缘着色的毛刷，所述毛刷连接着色装置，所述底座另一侧设置有支撑架，所述支撑架上端设置有用于固定晶片放置筒内部晶片的固定装置。

2.根据权利要求1所述的一种晶片边缘加工完整度检测装置，其特征在于：所述着色装置包括设置在底座下方的着色液存放箱，所述着色液存放箱中设置有水泵，水泵连接导液管，所述导液管连接毛刷。

3.根据权利要求2所述的一种晶片边缘加工完整度检测装置，其特征在于，所述毛刷下方设置有着色液收集头，所述着色液收集头连接回流管，所述回流管连接着色液存放箱。

4.根据权利要求1所述的一种晶片边缘加工完整度检测装置，其特征在于，所述固定装置包括固定在支撑架上的气缸，所述气缸设置在晶片放置筒正上方，所述气缸的输出端固定连接轴承。

5.根据权利要求4所述的一种晶片边缘加工完整度检测装置，其特征在于，所述轴承与晶片接触处设置橡胶垫。